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Webinar課程:快速傅里葉變換:測厚膜時您的得力助手
閱讀:1155 發(fā)布時間:2020-8-12課程
KLA Instruments | Webinar課程:快速傅里葉變換:測厚膜時您的得力助手
※適合新老客戶了解學習膜厚儀的使用,;加深對產(chǎn)品的理解,。
超過8微米的厚膜會產(chǎn)生很多光干涉條紋,。分析這樣復(fù)雜光譜的一個簡潔方法就是用快速傅里葉變換,。FILMeasure 軟件包括一系列高智能方法來簡化光譜分析,。這包括FFT窗口功能,,波長范圍自動優(yōu)化,以及光學厚度濾波,。
我們會講到光斑尺寸的影響以及設(shè)備的選配,。還會講到多層薄膜的應(yīng)用。
下期預(yù)告:
時間:2020年9月17日 上午10點
敬請期待?。▽脮r注意查看推送文章)