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優(yōu)尼康微課堂:臺階儀相關(guān)知識科普
閱讀:1969 發(fā)布時間:2020-4-27臺階儀相關(guān)知識科普
優(yōu)尼康微課堂:什么是臺階儀,?
臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器,,也叫探針式表面輪廓儀。臺階儀測量精度較高,、量程大,、測量結(jié)果穩(wěn)定可靠、重復性好,被廣泛應(yīng)用在各行各業(yè),。
測量原理:
當觸針沿被測表面輕輕滑過時,,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時,還沿峰谷作上下運動,。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況,。
臺階儀性能優(yōu)劣取決于以下三個方面:
測試重復性、測試速度以及操作難易程度,。這些因素決定了實驗數(shù)據(jù)的質(zhì)量和實驗操作的效率,。
在這以我們優(yōu)尼康提供的一款KLA臺階儀為例,簡單介紹下,,
型號:P-17
支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。
P-17是第八代臺式探針輪廓儀,,是40多年的表面量測經(jīng)驗的結(jié)晶,。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度,、翹曲度和應(yīng)力進行2D和3D測量,,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。
該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器,、恒力控制和超平掃描平臺,,因而具備的測量穩(wěn)定性。 通過式平臺控制,、頂視和側(cè)視光學系統(tǒng)以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能,,程序設(shè)置簡便快速。
P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡,、調(diào)平和分析算法,,可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別,、排序和特征檢測實現(xiàn)全自動測量,。