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3D光學(xué)表面輪廓儀的工作原理和應(yīng)用

 

為什么需要測(cè)量表面形貌？

　　在生產(chǎn)中,，微觀上的表面形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)價(jià)具有直接的影響，而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更,、更真實(shí)地反映零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來(lái)越受到重視,，因此表面三維微觀形貌的測(cè)量就越顯重要,。通過(guò)對(duì)三維形貌的測(cè)量可以比較地評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞及設(shè)計(jì)要求的合理性,，這樣就可以反過(guò)來(lái)通過(guò)指導(dǎo)加工,、優(yōu)化加工工藝以加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn),。

 

3D光學(xué)表面輪廓儀的測(cè)量原理：

光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射,，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉,，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào),，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌,。

3D光學(xué)表面輪廓儀的應(yīng)用

優(yōu)尼康科技有限公司提供的Profilm3D光學(xué)輪廓儀讓輪廓測(cè)量?jī)r(jià)格更為實(shí)惠，適用于各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。