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On-line在線薄膜厚度檢測方案
閱讀：2205 發(fā)布時間：2019-6-20簡 介
優(yōu)尼康科技有限公司（UNICORN TECHNOLOGY CO., LTD.）成立于2012年11月,，注冊于中國香港,， 是翌穎科技(上海)有限公司的子公司。
翌穎科技(上海)有限公司主要為半導(dǎo)體,、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進(jìn)口制程及測量設(shè)備,。提供的一對一*，技術(shù)支持,，備件管理和咨詢服務(wù),。
Filmetrics方案推廣商，具備方案定制,，改造升級,，本土化維護(hù)，與備件庫的方案提供商,，是Filmetrics 中國區(qū)售后服務(wù)中心
什么是Parylene ?
聚對二甲（Poly－para－ xylylene,；簡稱（ parylene）是一種高分子聚合物,，在中國又稱為＂派瑞林”。
Parylene是六十年代中期美國 Union Carbide Co．開發(fā)應(yīng)用的一種新型敷形涂 層材料根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同,， Parylene可分為N型,、C型、D型,、HT型等多種類型,。
常用派瑞林材料基本特性
(1):派瑞林C粉防水, 防腐性比N粉強(qiáng)30%,耐電壓低于N粉, C粉適用于PCBA.
(2): 派瑞林N粉耐電壓高防水, 防腐性能低于C粉, 適用于微型電機(jī)矽鋼片等.
(3): 派瑞林HT-2粉, 防水, 防腐, 耐電壓都比C-N粉各項性能提高了15%左右, 是在C-N粉基礎(chǔ)上提升起來的,己經(jīng)代替了C-N粉生產(chǎn)用途.
(4): 派瑞林(F-VT4)-(F-AF4) 粉, 防紫外線強(qiáng)應(yīng)用于戶外產(chǎn)品, 材料成本偏高客戶暫時很難接受單價.
什么是Parylene C?
Parylene C 是系列中第二個具有商業(yè)價值的成員。它由相同的單體制成,，只是將其中一個芳香烴氫原子用一個氯原子所取代了,。
綜合了優(yōu)良的介電性能和物理機(jī)械性能，對潮濕和腐蝕性氣體有低的滲透性,。
可以提供真正的無針孔覆形隔離,。滿足美軍標(biāo)MIL-46058C,是涂敷重要電路板的材料。符合ISO-10993生物試驗要求,。符合UDP第六類塑料的生物試驗要求.
Parylene 特性
Parylene沈積可以經(jīng)由活潑的單體（ monomer）氣體,，聚合于物體表面上，而不同于一般常見經(jīng)由液體涂層的方法制備,。
其活性分子在被涂裝的對象表面生成*披覆的聚合物薄膜,，可涂裝到任何形狀的表面面，且不產(chǎn)生死角,，包括括尖銳的棱角,、隙縫內(nèi)部與極細(xì)微的針孔中，
膜厚可一致性的被覆在產(chǎn)品的任何部位,，薄膜厚度由1um－50um,，是極薄的涂裝之一。
Parylene 行業(yè)應(yīng)用
Parylene制程工藝介紹
Parylene采用化學(xué)氣相沉積工藝（CVD）,。
配積過程分為三步驟：
1．真空條件下, 以120℃將固態(tài)粉末狀的對二甲苯的二聚物 (di-para-xylylene; dimer) 加熱汽化;
2．以650℃ 將氣態(tài)的對二甲苯的二聚物 ,裂解為對二甲苯 (para-xylylene) 的 活性單體(monomer);
3．氣態(tài)活性單體在室溫下沉積并聚合成聚對二甲苯 (Poly-para-xylylene )的薄膜,。
Parylene 制程設(shè)備生產(chǎn)管控三要素
Parylene 產(chǎn)品不良的3種特征
Parylene
日本高分子材料公司吉世科(KISCO)于1月7日宣布收購美國特種涂層公司Specialty Coating Systems(SCS)。
兩家同為行業(yè),，吉世科在聚對二甲苯市場已深耕18年,，在材料科學(xué)與研發(fā)上擁有很深的背景，而SCS與聚對二甲苯的誕生頗有淵源,，
是聚對二甲苯市場的銷售商,。
生產(chǎn)過程中容易出現(xiàn)的問題及監(jiān)管
問題：
1 .鍍膜過程材料分解純度不夠 （缸體內(nèi)壓力控制 ,，到時厚度均勻性差
2. 材料在缸體停留時間過長 ,，導(dǎo)致產(chǎn)品發(fā)白
3. 產(chǎn)品缸內(nèi)擺涉及原材料氣相流動，也會對產(chǎn)品的厚度均勻性產(chǎn)生影響
4. 生產(chǎn)過程中堵缸,，產(chǎn)品膜厚不增長
5. 擋風(fēng)板結(jié)構(gòu)設(shè)計很重要,，不合理會殘留材料會導(dǎo)致送料管堵塞
溫度,，壓力管控 、厚度在線監(jiān)控
產(chǎn)品發(fā)白,，發(fā)藍(lán),，產(chǎn)品附著力差、膜厚不均勻.
Filmetrics –在線測量的優(yōu)勢
快,、準(zhǔn),、省
無損，非接觸式測量,、預(yù)警
1.生產(chǎn)產(chǎn)品過程監(jiān)控—實時反饋生產(chǎn)數(shù)據(jù),，提高產(chǎn)品品質(zhì)
2.提高生產(chǎn)效率— 設(shè)定生產(chǎn)指標(biāo) ，報警提示
3.節(jié)省材料成本— 縮小產(chǎn)品指標(biāo)公差,，材料節(jié)省可見
4.減少人工成本— 監(jiān)控室直接在線數(shù)據(jù)監(jiān)管
5.堵缸,、停缸監(jiān)控— 節(jié)省材料，與人工挽救不良率
6.給產(chǎn)品設(shè)定的厚度范圍
7.方便不同產(chǎn)品工藝的調(diào)整
8.經(jīng)過客戶實際生產(chǎn)測算,，7個缸體工作,，一年節(jié)省15%~50% 材料與人工支出,良品率 的提升由56% 提升到 86~95%.
Filmetrics –生產(chǎn)過程在線監(jiān)控與測量的生產(chǎn)線布置示意圖
Unicorn–產(chǎn)品全檢在線測量方案
F32 --測量原理
Filmetrics –在線測量產(chǎn)品介紹
快、準(zhǔn),、省
離線式手動檢測
