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電鏡和其它精密儀器對(duì)環(huán)境震動(dòng)要求很高,，例如電鏡要求X、Y,、Z方向的低頻震動(dòng)（0~30Hz）＜6微米,；30Hz以上的高頻震動(dòng)＜12微米.。20Hz以下的低頻震動(dòng),，對(duì)電鏡的干擾影響zui大,。如果超過(guò)該指標(biāo)，電鏡在高倍率（1萬(wàn)倍以上）照相,，就難于得到理想圖像,。

普通掃描電子顯微鏡（SEM）當(dāng)安置到樓房高層（2層以上），或置于有強(qiáng)震動(dòng)的場(chǎng)地時(shí)（例如附近地下有地鐵,，）,，高倍率3萬(wàn)倍以上觀察、照相就無(wú)法進(jìn)行,。而必須使用震動(dòng)隔離系統(tǒng)-防振臺(tái),。

場(chǎng)發(fā)射電鏡（FEM）要在幾十萬(wàn)倍觀察和照相,，對(duì)震動(dòng)要求更高。即便安裝在一樓,，也都不能滿足要求,。一般都要求安裝防振臺(tái)。

當(dāng)然,，用于電鏡的防振臺(tái)更適于其它精密儀器,。

瑞士Table Stable公司的AVI400型是世界上的防震臺(tái)。它為2個(gè)分離單元的隔振墊塊,，安裝非常方便,。

                                                   

              瑞士Table Stable公司的AVI400型防振臺(tái)

 

2         原理

防振臺(tái)有2鐘：被動(dòng)式和主動(dòng)式的。

被動(dòng)式的是采用橡膠,、金屬?gòu)椈?、空氣彈簧等?/span>20Hz以下的低頻震動(dòng)減震效果很差，在0~20Hz 會(huì)增加SEM 的諧振,，不被采用,。

主動(dòng)式的是采用3維探測(cè)器，檢測(cè)3維方向（X,、Y,、Z）傳來(lái)的外部震動(dòng)，由PID(     )控制器產(chǎn)生等幅,、反相的控制信號(hào),，再由執(zhí)行機(jī)構(gòu)產(chǎn)生等幅、反相的內(nèi)部震動(dòng)來(lái)抵消或減弱外部的震動(dòng)干擾?，F(xiàn)在,，國(guó)外技術(shù)的防振臺(tái)都是主動(dòng)式的，常用的有壓電陶瓷式,、空氣式,、電磁式、電動(dòng)機(jī)式等,。

3         選型

瑞士Table Stable公司的執(zhí)行機(jī)構(gòu)-隔振墊塊,，是2個(gè)長(zhǎng)條式的模塊，體積輕巧,，體積小,，安裝方便，價(jià)格適中,，國(guó)內(nèi)用戶較多,。相比德國(guó)B公司、美國(guó)T公司的執(zhí)行機(jī)構(gòu)-隔振墊塊都是方形平臺(tái)式的，體積大,，安裝不便,，價(jià)格貴，且需要SEM的廠家現(xiàn)場(chǎng)協(xié)助,。

4         實(shí)用效果

客戶的EVO MA 25 SEM安裝在3樓,，1萬(wàn)倍以上照相無(wú)法進(jìn)行。2012年12至今,，使用瑞士的AVI-400型防震臺(tái),，了電鏡的正常使用，10～20萬(wàn)倍照相,，也可以得到滿意圖像.