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X射線熒光就是被分析樣品在X射線照射下發(fā)出的X射線，它包含了被分析樣品化學(xué)組成的信息,，通過對X射線熒光的分析確定被測樣品中各組分含量的儀器就是X射線熒光分析儀,。由原子物理學(xué)的知識，對每一種化學(xué)元素的原子來說,，都有其特定的能級結(jié)構(gòu),，其核外電子都以其*的能量在各自的固定軌道上運行。內(nèi)層電子在足夠能量的X射線照射下脫離原子的束縛,，成為自由電子,，這時原子被激發(fā)了，處于激發(fā)態(tài),。此時,，其他的外層電子便會填補(bǔ)這一空位,，即所謂的躍遷，同時以發(fā)出X射線的形式放出能量