硅微熔壓力變送器采用MEMS硅晶片技術(shù),,通過高溫?zé)Y(jié),,與不銹鋼膜片結(jié)合為一體。產(chǎn)品無焊接縫,、無硅油等中介介質(zhì)填充,,重復(fù)使用性能穩(wěn)定,堅固耐用,,尤其適合大壓力的工況,,產(chǎn)品抗震性能強,體積小巧,,重量輕,,安裝使用方便。
硅微熔壓力變送器的工作原理:
基于MEMS(微電機)技術(shù)的壓力傳感器,,它是建立在微米/納米基礎(chǔ)上,在單晶體硅片上刻融制作惠斯登電橋組成的硅應(yīng)變計,,經(jīng)高溫熔化玻璃,,將硅應(yīng)變片燒結(jié)在不銹鋼彈性體上,彈性體受壓變形后硅應(yīng)變片產(chǎn)生電信號,,由帶微處理器的數(shù)字補償放大電路進行放大,,經(jīng)數(shù)字軟件進行全智能溫度補償,輸出標(biāo)準(zhǔn)信號,。
硅微熔壓力變送器的壓力量程的選用應(yīng)主要考慮三個方面的因素:傳感器的較大過壓能力,、精度與壓力量程的關(guān)系以及傳感器的價格與壓力量程的關(guān)系。
1,、量程的選用在考慮較大過壓能力時,,要特別注意靜壓和動壓的區(qū)別。因為,,動壓往往會出現(xiàn)沖擊壓力,,甚至沖擊波,而沖擊壓力遠高于靜壓力,,如果選用的較大工作壓力量程是指靜壓力的話,,傳感器在承受動壓力時,應(yīng)選用較大的過壓能力,否則沖擊壓力很容易達到極限耐壓,,使壓力傳感器受到破壞,。
2、量程的選用我們還要注意精度和量程的關(guān)系,,一般情況下不同量程的壓力傳感器其精度存在差異,,在選型時選擇合適的量程更容易滿足精度上的要求。
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