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行業(yè)產(chǎn)品

當前位置:
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[供應(yīng)]OG-臭氧發(fā)生器
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  • OG-臭氧發(fā)生器
貨物所在地:
上海上海市
產(chǎn)地:
美國
更新時間:
2023-07-21 21:00:07
有效期:
2023年7月21日 -- 2024年1月21日
已獲點擊:
179
在線詢價 收藏產(chǎn)品

(聯(lián)系我們,,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

產(chǎn)品簡介

OG系列臭氧發(fā)生器采用電暈放電原理,,產(chǎn)生高濃度臭氧氣體。

詳細介紹

應(yīng)用:CVDALD氧化物生長表面處理濕刻顆粒清潔光阻去除外延zui大臭氧產(chǎn)量:OG-5000-A 210g/hr OG-5000-B 150g/hr氧氣純度要求:6個9或更高氮氣要求:5個9或更高進氣流量:0.5-20slpm臭氧出口壓力:15-40psi運行環(huán)境溫度:5-35度冷卻水溫度:20+—3度冷卻水流量:1-1.2gpm at 60psi冷卻水品質(zhì):半導(dǎo)體級

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