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汽車轉(zhuǎn)向節(jié)金相顯微鏡
汽車轉(zhuǎn)向節(jié)金相顯微鏡
汽車轉(zhuǎn)向節(jié)金相顯微鏡
BX3M系列采用了模塊化設(shè)計(jì),為廣泛的材料學(xué)和工業(yè)應(yīng)用提供了多樣化的解決方案,。BX3M增強(qiáng)了與Stream軟件的集成性,,從而為常規(guī)顯微鏡檢查和數(shù)碼成像用戶提供了從觀察到報(bào)告創(chuàng)建的無(wú)縫工作流程。
照明器的設(shè)計(jì)大程度減少了顯微鏡操作過(guò)程中所必須的復(fù)雜操作,。 照明器前端的旋鈕使用戶能夠輕松地改變觀察方法,。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時(shí)快速切換*常用的觀察方法,比如從明場(chǎng)觀察到暗場(chǎng)觀察,到偏光觀察,,以隨時(shí)改變不同類型的分析。此外,,可以旋轉(zhuǎn)檢偏鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單偏光觀察的調(diào)節(jié),。
操作者能夠在經(jīng)常使用的觀察方法之間快速切換(AlSi的拋光態(tài)樣品)
使用正確的孔徑光闌和視場(chǎng)光闌設(shè)置能夠獲得良好的圖像對(duì)比度,還可以充分利用物鏡的數(shù)值孔徑,。指示標(biāo)志可引導(dǎo)用戶根據(jù)觀察方法和所用物鏡進(jìn)行正確的設(shè)置,。
機(jī)架上的對(duì)焦刻度標(biāo)尺可以讓操作者快速鎖定焦點(diǎn)。操作者不用通過(guò)目鏡查看樣品就可以大致地對(duì)準(zhǔn)焦點(diǎn),,從而在檢查具有不同高度的樣品時(shí)節(jié)省了時(shí)間,。
在初始設(shè)定時(shí),可以調(diào)節(jié)照明強(qiáng)度,,使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉(zhuǎn)換器的特定硬件配置匹配,。
傳統(tǒng)的光強(qiáng)
傳統(tǒng)顯微鏡中,提高了放大倍率,,以及使用需要更多光線的觀察方法后,,圖像會(huì)變得更暗。
智能光強(qiáng)管理
改變放大倍率或觀察方法時(shí),,顯微鏡自動(dòng)調(diào)節(jié)光強(qiáng)到正確值,。
人性化設(shè)計(jì)對(duì)所有用戶都至關(guān)重要。無(wú)論是單機(jī)顯微鏡用戶,,還是集成了Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統(tǒng)用戶,,都能得益于可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的人性化操作設(shè)計(jì)的手動(dòng)控制器。簡(jiǎn)單的手動(dòng)開關(guān)讓用戶能夠?qū)W⒂跇悠泛蜋z查工作本身,。
用于旋轉(zhuǎn)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器的手動(dòng)開關(guān)
手動(dòng)控制器
曝光按鈕
BX3M采用了新的編碼功能,,將顯微鏡的硬件設(shè)置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀察方法,、照明強(qiáng)度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動(dòng)控制器里,。編碼功能可實(shí)現(xiàn)顯微鏡設(shè)置與每幅圖像一起自動(dòng)保存,從而可輕松完成此后的還原設(shè)置,,以及為報(bào)表提供文檔記錄,。既節(jié)省了操作者的時(shí)間,又*大程度地減小了使用不正確設(shè)置的概率,。當(dāng)前的觀察設(shè)置總是清晰地顯示在手動(dòng)控制器和軟件上,。
操作步驟 | 操作者A | 操作者B |
不同的操作者使用不同的設(shè)置 | ||
易于驗(yàn)證正確的設(shè)置 | ||
使觀察設(shè)置保持同步 | ||
盡管操作者不同,但設(shè)置相同 |
BX3M的MIX觀察技術(shù)組合了明場(chǎng)和暗場(chǎng)照明方法,。MIX照明滑塊中的LED光源,,以定向暗場(chǎng)光線照射樣品。這種方式類似于傳統(tǒng)暗場(chǎng)照明,但又可為L(zhǎng)ED的不同角度光線照射提供四分象限選擇功能,。這種定向暗場(chǎng)與明場(chǎng),、熒光、或偏光的組合稱為MIX照明,,有助于突出顯示缺陷和區(qū)分隆起與凹陷表面,。
明場(chǎng)將光線直接照射在樣品上,暗場(chǎng)則使光線沿物鏡的周圍從側(cè)面照射樣品,,突出顯示了劃痕和缺陷,。
MIX觀察是通過(guò)一個(gè)環(huán)形LED光源來(lái)形成明場(chǎng)、熒光或偏光與定向暗場(chǎng)的組合,??梢哉{(diào)節(jié)LED光源,選擇從哪個(gè)方向進(jìn)行照明,。該方法可在傳統(tǒng)方法無(wú)法觀察的表面上獲得的對(duì)比度并可突出表面特征,。
現(xiàn)在不需要電動(dòng)載物臺(tái),僅僅移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像,。奧林巴斯Stream軟件采用圖案識(shí)別技術(shù)來(lái)生成全景圖像,,為用戶提供了比單一畫面更廣闊的視野。
一枚硬幣的即時(shí)MIA圖像,。
Stream軟件的景深擴(kuò)展成像(EFI)功能能夠獲取高度超過(guò)物鏡焦深的樣品圖像,,把通過(guò)不同焦面的圖像疊加在一起,創(chuàng)建出一幅超景深圖像,??梢允褂檬謩?dòng)或電動(dòng)Z軸機(jī)構(gòu)來(lái)執(zhí)行EFI,并可創(chuàng)建一幅高度圖,,以輕松地識(shí)別樣品結(jié)構(gòu),。也可以用Stream桌面版在離線時(shí)創(chuàng)建EFI圖像。
高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)使用了先進(jìn)的圖像處理技術(shù),,能夠針對(duì)一幅圖像內(nèi)的亮度差異進(jìn)行調(diào)節(jié),,從而減少了眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺(jué)效果,,從而為用戶制作報(bào)告時(shí)提供*的圖像,。
借助HDR功能,同時(shí)清晰呈現(xiàn)出高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)
(樣品:燃油噴射器)
借助HDR功能,,增強(qiáng)了對(duì)比度
(樣品:鎂切片)
反射光顯微鏡應(yīng)用于各行各業(yè),。以下僅為一些通過(guò)不同觀察方法獲得的效果示例,如 明場(chǎng)(BF),、 暗場(chǎng)(DF),、微分干涉差(DIC),、偏光(PL)、熒光(FL),、紅外(IR),、和透射光(TL)。
DF(示例: 表面貼裝基板)
DIC(示例:球墨鑄鐵腐蝕檢測(cè))
PL(示例: 絹云母)
FL(示例: 半導(dǎo)體晶圓上的顆粒異物)
IR(示例:電極切片)
TL(示例: LCD彩色濾光片)
通過(guò)Stream軟件可以實(shí)現(xiàn)多種測(cè)量功能,,從而使用戶可以很輕松地從圖像中獲取有用的數(shù)據(jù),。在質(zhì)量控制和檢查時(shí)常常需要對(duì)圖像進(jìn)行測(cè)量。所有級(jí)別的Stream 授權(quán)軟件都包括了交互式的測(cè)量功能,,比如距離,、角度,、矩形,、圓、橢圓和多邊形,。所有測(cè)量結(jié)果都與圖像文件一起保存,,用于今后的文件檢索。
目標(biāo)探測(cè)和尺寸分布測(cè)量,,是數(shù)碼圖像中重要的應(yīng)用,。Stream軟件使用閾值分割方法進(jìn)行目標(biāo)探測(cè),能夠可靠地從背景中分離目標(biāo)(比如顆粒,、劃痕),。
使用外部電動(dòng)對(duì)焦機(jī)構(gòu)時(shí),可以快速獲取EFI圖像,,并以3D視圖顯示,。獲取的高度數(shù)據(jù)可用于剖面上的3D測(cè)量,或通過(guò)單視圖進(jìn)行3D測(cè)量,。
3D表面視圖(粗糙度試驗(yàn)樣品)
單視圖和3D剖面測(cè)量
新型150×100mm載物臺(tái)在X方向上提供了比以前的型號(hào)更大的行程,。再加上其載物臺(tái)板的平板式設(shè)計(jì),可以輕松地將大樣品,,或多個(gè)樣品放置在載物臺(tái)上,。載物臺(tái)板上開有小孔,可用于固定樣品架,。更大的載物臺(tái)為用戶提供了靈活性,,使他們能夠在一臺(tái)顯微鏡上檢查更多的樣品,從而節(jié)省了寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間,??烧{(diào)節(jié)扭力的載物臺(tái)方便了高倍下窄視野的微調(diào)定位。
BX53MRF-S
使用選配的模塊組件可以將高105mm的樣品放置在載物臺(tái) 上,。由于改進(jìn)了調(diào)焦機(jī)構(gòu),,因此顯微鏡可以容納*重6kg的總重量(樣品+載物臺(tái))。這就意味著BX3M可以檢查更大、更重的樣品,,從而減少了實(shí)驗(yàn)室內(nèi)所需的顯微鏡數(shù)量,。通過(guò)戰(zhàn)略性地將用于6英寸晶圓的旋轉(zhuǎn)托架放置在偏離中心的位置,在100mm行程范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí),,用戶僅旋轉(zhuǎn)晶圓托架即可觀察整個(gè)晶圓表面,。優(yōu)化了載物臺(tái)的扭力調(diào)節(jié),以便于使用,,舒適的手柄使用戶更易于找到樣品的感興趣區(qū)域,。
BXFM
如果樣品太大,難以放置在常規(guī)顯微鏡載物臺(tái)上,,則可以把用于反射光顯微鏡觀察的核心光學(xué)部件組裝到一個(gè)模塊化的系統(tǒng)里,。這種模塊化系統(tǒng),就是BXFM,,它可以通過(guò)一個(gè)支撐桿安裝在更大的支架上,,或使用安裝托架安裝在另一臺(tái)儀器上。這就使用戶能夠充分利用優(yōu)異的光學(xué)元件的優(yōu)勢(shì),,即使其樣品在尺寸或形狀上都很*,。
BX3M具有ESD靜電消除能力,,防止電子裝置受到由人為或環(huán)境因素而導(dǎo)致的靜電的影響,。
入門 | 標(biāo)準(zhǔn) | 高級(jí) | |||||||
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無(wú)限遠(yuǎn)校正系統(tǒng)) | ||||||||
主機(jī) | 顯微鏡鏡架 | BX53MRF-S (反射) | BX53MTRF-S (反射/透射) | BX53MRF-S (反射) | BX53MTRF-S (反射/透射) | BX53MRF-S (反射) | BX53MTRF-S (反射/透射) | ||
聚焦 | 行程:25毫米 每轉(zhuǎn)行程微調(diào):100 μm *小分度:1 μm 帶有用于粗調(diào)的上限限位器和扭矩調(diào)節(jié) | ||||||||
*高標(biāo)本高度 | 反射:65毫米(無(wú)墊片),105毫米(帶BX3M-ARMAD) 反射/透射:35毫米(不帶墊片),,75毫米(帶BX3M-ARMAD) | ||||||||
觀察筒 | 寬視場(chǎng)(F.N.22) | U-TR30-2-2 倒像:三目鏡筒 | |||||||
照明 | 反射光 透射光 | BX3M-KMA-S 白光LED,,BF / DIC / POL / MIX FS,AS(帶定心機(jī)構(gòu)),,BF / DF互鎖 | BX3M-RLAS-S 編碼,,白光LED,BF / DF / DIC / POL / MIX FS,,AS(帶定心機(jī)構(gòu)),,BF / DF互鎖 | ||||||
- | BX3M-LEDT 白光LED 阿貝/長(zhǎng)工作距離聚光鏡 | - | BX3M-LEDT 白光LED 阿貝/長(zhǎng)工作距離聚光鏡 | - | BX3M-LEDT 白光LED 阿貝/長(zhǎng)工作距離聚光鏡 | ||||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | U-5RE-2 用于明場(chǎng)(BF):五孔 | U-D6BDRE 用于明場(chǎng)/暗場(chǎng)(BF/DF):六孔 | U-D6BDRES-S 用于明場(chǎng)/暗場(chǎng)(BF/DF):六孔,編碼型 | ||||||
目鏡(F.N.22) | WHN10 WHN10X-H | ||||||||
MIX觀察 | - | BX3M-CB 控制箱 BX3M-HS 手動(dòng)開關(guān) U-MIXR 用于反射光觀察的MIX插片 U-MIXRCBL U-MIXR電纜 | |||||||
聚光鏡(長(zhǎng)工作距離) | - | U-LWCD | - | U-LWCD | - | U-LWCD | |||
電源線 | UYCP (x1) | UYCP (x2) | |||||||
重量 | 反射:約15.8公斤(顯微鏡鏡架7.4公斤) 反射/透射:約18.3公斤(鏡架7.6公斤) | ||||||||
物鏡 | MPLFLN套裝 | MPLFLN5X, 10X, 20X, 50X, 100X BF/POL/FL觀察 | - | ||||||
MPLFLN BD 套裝 | - | MPLFLN5XBD, 10XBD, BD, 50XBD, 100XBD BF / DF / DIC / POL / FL觀察 | |||||||
MPLFLN-BD, LMPLFLN-BD 套裝 | - | MPLFLN5XBD, 10XBD, LMPLFLN20XBD, 50XBD, 100XBD BF / DF / DIC / POL / FL觀察 | |||||||
載物臺(tái) (X × Y) | 76毫米x 52毫米 組件 | U-SVRM, U-MSSP 同軸右手柄載物臺(tái)/ 76(X)×52(Y)毫米,,帶扭矩調(diào)節(jié) | |||||||
100毫米 x 100毫米 組件 | U-SIC4R2, U-MSSP4 大尺寸同軸右手柄載物臺(tái)/ 100(X)x 100(Y)毫米,,Y軸配有鎖定機(jī)構(gòu) | ||||||||
100毫米x 100(G)毫米組件 | U-SIC4R2, U-MSSPG 大尺寸同軸右手柄載物臺(tái)/ 100(X)x 100(Y)毫米,Y軸配有鎖定機(jī)構(gòu)(玻璃板) | ||||||||
150毫米x 100毫米組件 | U-SIC64, U-SHG, U-SP64 大尺寸同軸右手柄載物臺(tái)/ 150(X)x 100(Y)毫米,,帶扭矩調(diào)節(jié),,Y軸配有鎖定機(jī)構(gòu) | ||||||||
150毫米x 100(G)毫米組件 | U-SIC64, U-SHG, U-SPG64 大尺寸同軸右手柄載物臺(tái)/ 150(X)x 100(Y)毫米,帶扭矩調(diào)節(jié),,Y軸配有鎖定機(jī)構(gòu)(玻璃板) | ||||||||
選配 | MIX觀察組件* | BX3M-CB, BX3M-HS, U-MIXR, U-MIXRCBL | - | ||||||
DIC* | U-DICR | ||||||||
中間鏡筒 | U-CA, U-EPA2, U-TRU | ||||||||
濾光片 | U-25ND6, U-25ND25, U-25LBD, U-25LBA, U-25Y48, U-AN360-3, U-AN360P, U-PO3, U-POTP3, U-25IF550, U-25L42, U-25, U-25FR | ||||||||
聚光鏡用濾光片 | 43IF550-W45, U-POT | ||||||||
載物臺(tái)板 | U-D6BDRES-S, U-D6RE-ESD-2, U-D6BDRES-ESD, U-5RES-ESD | ||||||||
試樣托架 | U-HRD-4, U-HLD-4, U-HRDT-4, U-HLDT-4 | ||||||||
手柄橡膠 | U-SHG, U-SHGT |
*不能與U-5RE-2一起使用,。
項(xiàng)目 | 顯微鏡鏡架 | BX53MRF-S, BX53MTRF-S |
照明器 | BX3M-KMA-S, BX3M-RLA-S, BX3M-URAS-S, BX3M-RLAS-S | |
物鏡轉(zhuǎn)換器 | U-D6BDREMC, U-D6BDRES-S, U-D6RE-ESD, U-D5BDREMC-ESD, U-5RES-ESD | |
載物臺(tái) | U-SIC4R2, U-MSSP4 |
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