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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
EX3自動橢圓偏振測厚儀是基于消光法（或稱“零橢偏”）測量原理,，針對納米薄膜厚度測量領(lǐng)域推出的一款自動測量型教學(xué)儀器,。與EM22儀器相比，該儀器采用半導(dǎo)體激光器作為光源,，穩(wěn)定性好,，體積更小。
EX3儀器適用于納米薄膜的厚度測量,，以及納米薄膜的厚度和折射率同時(shí)測量,。
EX3儀器還可用于同時(shí)測量塊狀材料（如，金屬,、半導(dǎo)體,、介質(zhì)）的折射率n和消光系數(shù)k。
特點(diǎn)
- 經(jīng)典消光法橢偏測量原理
儀器采用消光法橢偏測量原理,，易于操作者理解和掌握橢偏測量基本原理和過程,。
- 方便安全的樣品水平放置方式
采用水平放置樣品的方式，方便樣品的取放,。
- 緊湊的一體化結(jié)構(gòu)
集成一體化設(shè)計(jì),，簡潔的儀器外形通過USB接口與計(jì)算機(jī)相連，方便使用,。
- 高準(zhǔn)確性的激光光源
采用激光作為探測光波,，測量波長準(zhǔn)確度高。
- 豐富實(shí)用的樣品測量功能
可測量納米薄膜的膜厚和折射率,；塊狀材料的復(fù)折射率,、樣品反射率、樣品透過率,。
- 便捷的自動化操作
儀器軟件可自動完成樣品測量,，并可進(jìn)行方便的測量數(shù)據(jù)分析、儀器校準(zhǔn)等操作,。
- 安全的用戶使用權(quán)限管理
軟件中設(shè)置了用戶使用權(quán)限（包括：管理員,、操作者等模式），便于儀器管理和使用,。
- 可擴(kuò)展的儀器功能
利用本儀器,，可通過適當(dāng)擴(kuò)展,，完成多項(xiàng)偏振測量實(shí)驗(yàn)，如馬呂斯定律實(shí)驗(yàn),、旋光測量實(shí),、旋光等。
應(yīng)用
EX2適合于教學(xué)中單層納米薄膜的薄膜厚度測量,，也可用于測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k,。
EX2可測量的樣品涉及微電子、半導(dǎo)體,、集成電路,、顯示技術(shù)、太陽電池,、光學(xué)薄膜,、生命科學(xué)、化學(xué),、電化學(xué),、磁質(zhì)存儲、平板顯示,、聚合物及金屬表面處理等領(lǐng)域,。
技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
儀器型號 | EX2 |
測量方式 | 自動測量 |
樣品放置方式 | 水平放置 |
光源 | He-Ne激光器，波長632.8nm |
膜厚測量重復(fù)性* | 0.5nm (對于Si基底上100nm的SiO2膜層) |
膜厚范圍 | 透明薄膜：1-4000nm 吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關(guān) |
折射率范圍 | 1.3 – 10 |
探測光束直徑 | Φ2-3mm |
入射角度 | 30°-90°,，精度0.05° |
偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0-360° |
偏振器步進(jìn)角 | 0.014° |
樣品方位調(diào)整 | Z軸高度調(diào)節(jié)：16mm 二維俯仰調(diào)節(jié)：±4° |
允許樣品尺寸 | 樣品直徑可達(dá)Φ160mm |
配套軟件 | * 用戶權(quán)限設(shè)置 * 多種測量模式選擇 * 多個(gè)測量項(xiàng)目選擇 * 方便的數(shù)據(jù)分析,、計(jì)算、輸入輸出 |
zui大外形尺寸 | 約400*400*250mm |
儀器重量（凈重） | 約20Kg |
選配件 | * 半導(dǎo)體激光器 |
注：(1)測量重復(fù)性：是指對標(biāo)準(zhǔn)樣品上同一點(diǎn),、同一條件下連續(xù)測量30次所計(jì)算的標(biāo)準(zhǔn)差,。