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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
EMPro是針對研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域推出的*型多入射角激光橢偏儀,。
EMPro 可在單入射角度或多入射角度下進(jìn)行高精度,、高準(zhǔn)確性測量,。可用于測量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度,、折射率n和消光系數(shù)k,；也可用于同時(shí)測量塊狀材料 的折射率n和消光系數(shù)k；亦可用于實(shí)時(shí)測量快速變化的納米薄膜動態(tài)生長中膜層的厚度,、折射率n和消光系數(shù)k,。多入射角度設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了納米薄膜的厚度測 量。
EMPro采用了量拓科技多項(xiàng)技術(shù),。
特點(diǎn)：
原子層量級的*靈敏度
*的采樣方法,、高穩(wěn)定的核心器件、高質(zhì)量的制造工藝實(shí)現(xiàn)并保證了能夠測量原子層量級的極薄納米薄膜,，膜厚精度達(dá)到0.01nm,，折射率精度達(dá)到0.0001,。
百毫秒量級的快速測量
水準(zhǔn)的儀器設(shè)計(jì)，在保證*精度和準(zhǔn)確度的同時(shí),，可在幾百毫秒內(nèi)快速完成一次測量,，可滿足單原子膜層生長的實(shí)時(shí)測量。
簡單方便的儀器操作
用戶只需一個(gè)按鈕即可完成復(fù)雜的材料測量和分析過程,，數(shù)據(jù)一鍵導(dǎo)出,。豐富的模型庫、材料庫方便用戶進(jìn)行高級測量設(shè)置,。
應(yīng)用：
- EMPro適合于高精度要求的科研和工業(yè)產(chǎn)品環(huán)境中的新品研發(fā)或質(zhì)量控制,。
- EMPro可用于測量單層或多層納米薄膜層構(gòu)樣品的薄膜厚度、折射率n及消光系數(shù)k,；可用于同時(shí)測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k,；可用于實(shí)時(shí)測量快速變化的納米薄膜的厚度、折射率n和消光系數(shù)k,。
- EMPro可應(yīng)用的納米薄膜領(lǐng)域包括：微電子,、半導(dǎo)體、集成電路,、顯示技術(shù),、太陽電池、光學(xué)薄膜,、生命科學(xué),、化學(xué)、電化學(xué),、磁介質(zhì)存儲,、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等,?？蓱?yīng)用的塊狀材料領(lǐng)域包括：固體（金屬、半導(dǎo)體,、介質(zhì)等）,，或液體（純凈物或混合物）。
技術(shù)指標(biāo)：
項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
儀器型號 | EMPro31 |
激光波長 | 632.8nm (He-Ne Laser) |
膜厚測量重復(fù)性（1） | 0.01nm (對于平面Si基底上100nm的SiO2膜層) |
折射率測量重復(fù)性(1) | 1x10-4 (對于Si基底上100nm的SiO2膜層) |
單次測量時(shí)間 | 與測量設(shè)置相關(guān),，典型0.6s |
結(jié)構(gòu) | PSCA（Δ在0°或180°附近時(shí)也具有*的準(zhǔn)確度） |
激光光束直徑 | 1mm |
入射角度 | 40°-90°可手動調(diào)節(jié),，步進(jìn)5° |
樣品方位調(diào)整 | Z軸高度調(diào)節(jié)：±6.5mm 二維俯仰調(diào)節(jié)：±4° 樣品對準(zhǔn)：光學(xué)自準(zhǔn)直和顯微對準(zhǔn)系統(tǒng) |
樣品臺尺寸 | 平面樣品直徑可達(dá)Φ170mm |
zui大的膜層范圍 | 透明薄膜可達(dá)4000nm 吸收薄膜則與材料性質(zhì)相關(guān) |
zui大外形尺寸 | 887 x 332 x 552mm (入射角為90º時(shí)) |
儀器重量（凈重） | 25Kg |
選配件 | 水平XY軸調(diào)節(jié)平移臺 真空吸附泵 |
軟件 | ETEM軟件： l 中英文界面可選； l 多個(gè)預(yù)設(shè)項(xiàng)目供快捷操作使用,； l 單角度測量/多角度測量操作和數(shù)據(jù)擬合,； l 方便的數(shù)據(jù)顯示、編輯和輸出 l 豐富的模型和材料數(shù)據(jù)庫支持 |
注：(1)測量重復(fù)性：是指對標(biāo)準(zhǔn)樣品上同一點(diǎn),、同一條件下連續(xù)測量25次所計(jì)算的標(biāo)準(zhǔn)差,。
性能保證：
- 高穩(wěn)定性的He-Ne激光光源,、*的采樣方法以及低噪聲探測技術(shù)，保證了高穩(wěn)定性和高準(zhǔn)確度
- 高精度的光學(xué)自準(zhǔn)直系統(tǒng),，保證了快速,、高精度的樣品方位對準(zhǔn)
- 穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、可靠的樣品方位對準(zhǔn),，結(jié)合*的采樣技術(shù),，保證了快速、穩(wěn)定測量
- 分立式的多入射角選擇,，可應(yīng)用于復(fù)雜樣品的折射率和厚度的測量
- 一體化集成式的儀器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，使得系統(tǒng)操作簡單、整體穩(wěn)定性提高,，并節(jié)省空間
- 一鍵式軟件設(shè)計(jì)以及豐富的物理模型庫和材料數(shù)據(jù)庫,，方便用戶使用