內(nèi)平面孔徑儀使用兩個或三個點來定位并直接測量孔徑,,這也是測量孔徑的常用方法。根據(jù)被測孔徑的精度等級和數(shù)量,,可以使用游標(biāo)卡尺,,工具顯示鏡,萬能測長儀,,水平測長儀,,水平光學(xué)測厚儀,氣動動量儀等通用長度測量工具,;也可以使用特殊的孔徑測量工具,,例如內(nèi)徑千分尺,內(nèi)徑百分表和百分表,,內(nèi)徑千分尺,,電子塞規(guī)和基于氣動光學(xué)和電原理的孔徑計。

1.帶有杠桿機構(gòu)的測量孔:此方法通常用于手持式孔徑測量工具,,例如內(nèi)徑百分表,,機械或電氣內(nèi)徑千分尺等。內(nèi)平面孔徑儀測得的孔徑尺寸和校準(zhǔn)環(huán)規(guī)之間的差光圈通過杠桿機構(gòu)從百分表,,機械或電氣千分尺讀出,。這種測孔工具的測量孔徑范圍一般為10?800mm,內(nèi)徑千分尺的測量精度可以達到3?5μM,。
2.使用楔形原理測量孔:這種方法也常用于手持式孔測量工具中,。用于測量小孔的內(nèi)徑百分表可以測量小至0.5毫米的孔。當(dāng)測得的孔壓緊探針并用圓錐體移動測量桿時,,可以從百分表或千分尺讀出孔的誤差,。三點定位方法適用于測量直徑大于3mm的孔。當(dāng)測量桿旋轉(zhuǎn)時,,測量桿在固定螺母的作用下向前移動,,三個探頭通過圓錐形向外移動,圓錐體在測量桿的頂部帶有螺旋凸起,并與被測孔接觸,。從固定套筒和差動缸上的刻度上讀出測得的孔徑,,有三個用于測孔的爪式千分尺。
3.根據(jù)氣動,,光學(xué)和電動原理,,必須在接近20℃的恒定溫度下進行內(nèi)平面孔徑儀的高精度孔徑測量。光學(xué)干涉孔徑計的孔徑測量范圍為1?50mm,,精度為±0.5μM.