高純氣體管道配管

　　所有高純度,、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(POU),，為了達到工藝對氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量,。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外,，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響,，因此，管材的選取應恪守相關(guān)行業(yè)原則,，并在圖紙中注明管道材質(zhì),。

　　管路的材質(zhì)則依使用的需求進行選擇，若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316LEP管,，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理,，耐腐蝕，表面粗糙度低,，Rmax(maximum peak tovalleyheight)約為0.3μm以下，其值遠低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316LBA管的0.8μm,，因平整度越高越不容易形成微渦流,，而將污染粒子帶出。316LBA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體,，如GN2,、CDA。更多氣體知識請關(guān)注氣體圈子微信：gasgroup管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標準,。粗糙度越低,，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing& Picking),，則用于不做為供氣管路的雙套外管,。

　　目前在國內(nèi)潔凈管道可參照標準比較少，通常我們除了參照《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》《氫氣站設(shè)計規(guī)范》《氫氧站設(shè)計規(guī)范》《壓縮空氣設(shè)計規(guī)范》等有關(guān)技術(shù)行業(yè)技術(shù)規(guī)范外,，在業(yè)內(nèi)我們慣用的選材與配管一般參照國際通用的行業(yè)標準各種氣體配管配件要求在半導體體行業(yè)線寬越做越小,，其對氣體純度、顆粒度,、雜質(zhì)含量,、露點的要求也越來越高。

　　高純氮氣(PN2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥,。

　　氮氣(N2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管或光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或球閥,。

　　高純氫氣(PH2)氫氣(H2)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。氬氣(Ar)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L)不銹鋼管,，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥,。

　　氦氣(He)：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光(EP)低碳(316L不銹鋼管)閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

　　特氣系統(tǒng)：必要的還需做雙套管：外管酸洗鈍化(AP)處理,，內(nèi)管電解拋光(EP),，閥門采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥,。

　　壓縮空氣(CDA)：系統(tǒng)管道采用光亮退火(BA)低碳(316L)不銹鋼管，閥門采用相同材質(zhì)的球閥(要求不高的公司亦可采用銅管,，視工藝要求定)

　　對于特殊氣體來講,，氣體品種多，有毒有害氣體多,，原來是一機臺配一氣柜,，高昂的裝備組合和維修費用大大增加了投資成本，且有的還布置在工藝間內(nèi),，存在著泄漏的安全隱患?，F(xiàn)在廣泛采用集中供氣系統(tǒng)，氣柜集中,，自控系統(tǒng)不斷完善,，其報警、噴淋,、切換,、吹掃多較為成熟，特氣間也與工藝間隔離,，并對房間有防爆要求,，工作的安全性大大提高。

　　針對腐蝕性,、毒性,、燃燒性的氣體，通常設(shè)計將鋼瓶置于氣瓶柜(Gas Cabinet)內(nèi),，再透過管路將氣體供應至現(xiàn)場附近的閥箱(VMB, ValveManifold Box),，而后再進入制程機臺的使用點(POU, Point ofUse)，更多氣體知識請關(guān)注氣體圈子微信：gasgroup于進入機臺腔體之前,，會有獨立的氣體控制盤(GB, GasBox)與制程控制模塊聯(lián)機,，以質(zhì)流控制器(MFC, Mass Flow Controller)進行流量之控制與進氣的混合比例控制，通常此氣體控制盤不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計范疇,，而是歸屬制程機臺設(shè)備的一部份,。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(GasRack)與閥盤(VMP, Valve Manifold Panel)進行供應。

　　不同氣體配管要求

　　腐蝕性能較強的氣體時,，須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管,，否則，管材將會由于腐蝕而在內(nèi)表面產(chǎn)生腐蝕斑,，嚴重時會出現(xiàn)大片金屬剝離甚至穿孔,，從而污染輸配的純凈氣體。

　　大流量的高純、高潔凈度氣體輸配管道的連接,，原則上全部采用焊接,，要求采用的管材，在施焊時組織不發(fā)生變化,。含碳過高的材料在焊接時,，受焊接部位的透氣，使得管內(nèi)外氣體的相互滲透,，破壞輸送氣體的純度,、干燥度和潔凈度，導致我們的各項努力全部失去意義,。

　　綜上所述,，對于高純氣體及特種氣體輸送管道，需采用一種特種處理的高純不銹鋼管,，至使高純管道系統(tǒng)(包含管道,、管件、閥門,、VMB、VMP)在高純氣體配送中占有至關(guān)重要的作用