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全面曝光源特征：

高亮照明光源燈箱

涂覆用于 NUV 的 AlSiO 或用于 MUV 和 DUV 系統(tǒng)的增強銠的高效橢圓形反射器,，可收集高達(dá) 70％ 的弧光燈輸出,。在光通過專有設(shè)計的光束勻化器之后，45°初級二向色鏡對光進行反射,。勻化器或光學(xué)積分器類似于復(fù)合蠅眼,。它干擾弧光燈的非均勻輻照以產(chǎn)生多個發(fā)散光束。這些發(fā)散光束在準(zhǔn)直透鏡處重疊,，從而在工作平面上產(chǎn)生高度均勻的準(zhǔn)直光束。堅固的電子分離式葉片快門系統(tǒng)位于勻化器后面,。它由高精度和可重復(fù)的快門及快門電源組成,。可以通過燈罩側(cè)板上的開關(guān)或通過 68955 手持式開關(guān)手動打開和關(guān)閉該系統(tǒng),。對于自動曝光控制器,，我們提供 68951 型數(shù)字曝光控制器或 68945 型數(shù)字計時器,。根據(jù)要求，還可以在燈罩上接線,，從而通過計算機邏輯電平操作快門,。

軟啟動點火器

我們的 500W 汞 NUV 燈罩包含內(nèi)置的“軟啟動”點火器。這種點火器專為汞燈設(shè)計,，可提供高壓斜坡,，從而實現(xiàn)可靠的低壓力點火。結(jié)果是可忽略的電磁干擾,。500 和 1000 W 汞（氙）燈罩包含一個高壓點火器,，這是點燃這種燈類型所必需的。這些點火器在燈電極上施加高電壓 (25 kV) 脈沖放電,?？拷鼰魰p小脈沖必須行進的路徑長度，從而有利于點火和減少電磁干擾,。

弧光燈選項

NUV 光源采用汞短弧光燈,，這些光源包含精que含量的汞和氙或氬，用于充當(dāng)初始?xì)怏w,。通過紫外光波長和可見光波長的強汞線會影響其輸出光譜,。365 nm 線使其非常適合用于 NUV。MUV 和 DUV 光源控制汞（氙）短弧燈,，后者類似于汞燈,，但除初始?xì)怏w外還包含氙氣。額外的氙氣增強了短波紫外線,，使其成為 350 nm 以下應(yīng)用的理想選擇,。我們提供具有 NUV 和 MUV 光源的無臭氧汞氙燈以及用于 DUV 型的紫外增強燈。上圖顯示了 6285 500 W 汞燈的典型輸出,。

三個光譜范圍

照明光源的光譜輸出由燈類型,、二向色鏡和準(zhǔn)直透鏡確定。NUV 光源采用汞燈,，使用BK7玻璃透鏡（不透射低于 350 nm 的光）并且具有相應(yīng)的二向色鏡,。MUV 和 DUV 光源采用汞氙燈，使用紫外級熔融石英透鏡（透射低至 200 nm 的光）并具有相應(yīng)的二向色鏡,。如果您需要在所有地區(qū)工作的靈活性,，請選擇 DUV 光源并為相應(yīng)區(qū)域額外購買二向色鏡。

三個安全聯(lián)鎖系統(tǒng)

每個燈箱包含三個聯(lián)鎖系統(tǒng),。打開燈箱門將觸發(fā)電子聯(lián)鎖開關(guān),，從而自動中斷系統(tǒng)電源。這可以防止操作員意外接觸燈。如果溫度超過安全操作水平,，則熱防護聯(lián)鎖會關(guān)閉系統(tǒng),。如果燈的冷卻風(fēng)扇發(fā)生故障，則第三個聯(lián)鎖將關(guān)閉系統(tǒng),。

我們的 500 W 和 1000 W 全面曝光源涵蓋近紫外光 (350 - 450 nm),、中紫外光 (260 - 320 nm) 和深紫外光 (220 - 260 nm)。NUV 經(jīng)過專門設(shè)計,，可曝光大部分光刻膠,；MUV 用于聚合物交聯(lián)以及新型光刻膠；DUV 用于深紫外光研究,。我們的照明器可輻照 2.13 x 2.13 到 10 x 10 英寸的樣品,。

• 高強度輸出
• 強度分布均勻的大面積準(zhǔn)直光束
• 高效帶外抑制
• 定時曝光