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超高精度直接驅(qū)動垂直線性平移臺：XMS-V 系列通過在經(jīng)過驗證的 XMS 設(shè)計中添加平衡機構(gòu)，實現(xiàn)超精密垂直運動,。在所有垂直平移臺中,，XMS-V 具有超佳的 MIM 和雙向重復(fù)性，且速度快,。超高性能的垂直平移臺,，具有出色的精度、重復(fù)性和 MIM,。非接觸直接驅(qū)動系統(tǒng),，可平衡超精密、高動態(tài)運動和可靠操作,。超大型無鐵心高效率線性電機可大限度地減少發(fā)熱,。*抗蠕變交叉滾子軸承可以在不移動軸承罩的情況下確保無波紋運動。兩種類型的平衡可用：氣動型或可自動防故障的磁性型,。

超高精度直接驅(qū)動垂直線性平移臺有如下特征：

高精密和平滑運動：無鐵直接驅(qū)動技術(shù)支持高動態(tài)運動,，基本上沒有反沖、滯后,、卷繞或靜摩擦,；導(dǎo)致持續(xù)降低和更多可重復(fù)的跳動。此外,，由于沒有驅(qū)動螺絲,，可實現(xiàn)高精密定位所需的的無波紋運動

高精密線性編碼器：高精密玻璃線性編碼器可提供精確的位置反饋，支持 50 nm 的 MIM,。該低熱膨脹標尺的精確對準和安裝使溫度變化對平移臺重復(fù)性和精度的影響降至低。

平衡選項:直接驅(qū)動電機,、借助于平衡負載,、抵消重力的影響、減輕電機的工作并具有線性電機的所有優(yōu)勢,。氣動平衡選項可針對不同負載進行調(diào)整,。即使在切斷電機電源時，磁平衡選項也可防止托架向下漂移,。

防蠕動式交叉滾子軸承:與楔形設(shè)計相比,，由相配對的抗蠕變交叉滾子軸承組成的直接垂直導(dǎo)軌，可在高靈敏度操作中實現(xiàn)的無波紋運動，同時防止罩移位,。