光學(xué)輪廓測量顯微鏡

輪廓測量顯微鏡是屬于計(jì)量儀器，儀器主要采用雙照明透,、反射照明方式,，通過觀察和光學(xué)系統(tǒng)對精密的幾何量（輪廓、長度,、角度）進(jìn)行觀察,、分析、測量,。

光,、機(jī)、電一體化測量儀器,，廣泛用干機(jī)械,、儀表、電子,、輕工等行業(yè),，院校、研究所以及計(jì)量檢 定部門,。

本儀器能高效率地檢測各種形狀復(fù)雜工件的輪廓尺寸和表面形狀,，

如樣板,、沖壓件、凸輪螺紋,、齒輪、成型銑刀等,、大規(guī)模集成電路線寬,、小型零件（如鐘表零件）及其他精密幾何參數(shù)的數(shù)量。

光學(xué)輪廓測量顯微鏡

一,、技術(shù)參數(shù)

1. 觀察筒：正像觀察筒,，45°鉸鏈?zhǔn)饺浚嗾{(diào)節(jié)：50mm~76mm,，兩檔分光比

 雙目:三目=100：0 或 0:100

2.移動(dòng)行程范圍：  X:100mm;Y:100mm

分辨率 Z 軸不小于 0.02um,，XY 軸不小于 0.10um,Optical 不低于 0.40um

3.工作臺(tái)尺寸： 355×240mm  (玻璃臺(tái)面尺寸：210×175mm)

4.可檢測表面粗糙度：不小于 40nm

5.物鏡： 5X、10X,、20X,、50X、100X

6.總放大倍數(shù) 50X-1000X

7.雙照明光源,，帶可變視場光闌與孔徑光闌,，均可調(diào)中心

8. 適配鏡：直徑：59mm, 0.5 倍，內(nèi)調(diào)焦距：0～3mm 調(diào)焦后可鎖緊,；

感光元件 1/2″,，數(shù)據(jù)采集速度，可達(dá) 30 幀/秒,，最高分辨率：2048×1536