燒結(jié)爐是一種在高溫下,使陶瓷生坯固體顆粒的相互鍵聯(lián),,晶粒長大,,空隙(氣孔)和晶界漸趨減少,,通過物質(zhì)的傳遞,,其總體積收縮,密度增加,,最后成為具有某種顯微結(jié)構(gòu)的致密多晶燒結(jié)體的爐具,。
真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),,是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,,它設(shè)計構(gòu)思新穎,操作方便,,結(jié)構(gòu)緊湊,,在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,,真空釬焊等工藝,。但是你知道真空燒結(jié)爐遇到以下三種情況可以采取的應(yīng)急措施嗎?
一,、停電
1,、停電時,如果斷水,,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,,接通水源。
2,、如果在非升溫,、加熱和冷卻時,能夠盡快恢復(fù)時,,重新啟動設(shè)備,,繼續(xù)運轉(zhuǎn)如需要較長時間,,則將設(shè)備保持原狀。
3,、如果正在加熱和冷卻時,,能夠盡快恢復(fù)時,重新啟動設(shè)備,,如果需要較長時間時,,則保持原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來,。
二,、加熱電源掉電
1、水壓低,,當(dāng)水壓低于0.15MPa,,壓力表報警,。
2,、接地故障。
3,、真空放電,,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好,。
4,、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障,,掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電,。
三、充氣氣體停止
1,、抽真空開始前,,氣體充入時間長或者無法充入時,請確認(rèn)氣體管路是否被堵塞,。
2,、如氣體管路沒問題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作,,為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進(jìn)行檢查,。
3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下,,泄壓閥動作如泄壓閥動作時,,要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。
4,、確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方,,如有會影響制品質(zhì)量。