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850TB 自動化臨時鍵合系統(tǒng)

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號EVG

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

更新時間:2024-09-25 14:49:42瀏覽次數(shù):957次

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應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,航空航天,電氣
850TB 自動化臨時鍵合系統(tǒng):在全自動脫膠機中,,經(jīng)過處理的臨時粘合晶圓疊層被分離和清洗,,而易碎的設(shè)備晶圓始終在整個工具中得到支撐。 支持的剝離方法包括UV激光,,熱剝離和機械剝離,。 使用所有脫膠方法,都可以通過薄膜框架安裝或薄晶圓處理器來支撐設(shè)備晶圓,。

850TB 自動化臨時鍵合系統(tǒng)技術(shù)數(shù)據(jù)

全自動的臨時粘合系統(tǒng)可在一個自動化工具中實現(xiàn)整個臨時粘合過程-從臨時粘合劑的施加,,烘焙,將設(shè)備晶圓與載體晶圓的對準和粘合開始,。與所有EVG的全自動工具一樣,,設(shè)備布局是模塊化的,這意味著可以根據(jù)特定過程對吞吐量進行優(yōu)化,??蛇x的在線計量模塊允許通過反饋回路進行全過程監(jiān)控和參數(shù)優(yōu)化。由于EVG具有開放式平臺,,因此可以使用不同類型的臨時粘合粘合劑,,例如旋涂熱塑性塑料,熱固性材料或膠帶,。


850TB 自動化臨時鍵合系統(tǒng)特征

開放式膠粘劑平臺

各種載體(硅,,玻璃,藍寶石等)


適用于不同基板尺寸的橋接工具功能

提供多種裝載端口選項和組合


配方控制系統(tǒng)

實時監(jiān)控和記錄所有相關(guān)過程參數(shù)

集成的SECS / GEM接口


可選的集成在線計量模塊,,用于自動反饋回路

EVG850 TB技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸):長300毫米,,可能有超大的托架

不同的基材/載體組合

組態(tài)

外套模塊

帶有多個熱板的烘烤模塊

通過光學或機械對準來對準模塊

鍵合模塊


選件

在線計量

閱讀

高形貌的晶圓處理

翹曲的晶圓處理


特征

在有形和無形的情況下,都能可靠地處理變薄,,彎曲和翹曲的晶片

自動清洗去粘晶圓

配方控制系統(tǒng)

實時監(jiān)控和記錄所有相關(guān)過程參數(shù)

自動化工具中*集成的SECS / GEM界面

適用于不同基板尺寸的橋接工具功能

模塊化的工具布局→根據(jù)特定工藝優(yōu)化了產(chǎn)量

EVG850 DB技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸)高達300毫米

高達12英寸膠卷相框


組態(tài)

脫膠模塊

清潔模塊

膠卷裱框機


選件閱讀

多種輸出格式

高形貌的晶圓處理

翹曲的晶圓處理

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