米壓印設(shè)備之熱壓印：EVG510HE

• 簡介

EVG公司成立于1980年,，公司總部和制造廠位于奧地利,，在美國、日本和中國臺灣設(shè)有分公司,，并在其他各地設(shè)有銷售代理及售后服務(wù)部,，產(chǎn)品和服務(wù)遍及世界各地。

EVG公司是一家致力于半導(dǎo)體制造設(shè)備的全球供應(yīng)商,，其豐富的產(chǎn)品系列包括：涂膠和噴膠/顯影機(jī)/熱板/冷板,、掩模版光刻/鍵合對準(zhǔn)系統(tǒng)、基片熱壓鍵合/低溫等離子鍵合系統(tǒng),、基片清洗機(jī),、基片檢測系統(tǒng)、SOI 基片鍵合系統(tǒng),、基片臨時(shí)鍵合/分離系統(tǒng),、納米壓印系統(tǒng),。

目前已有數(shù)千臺設(shè)備安裝在世界各地，被廣泛地應(yīng)用于MEMS微機(jī)電系統(tǒng)/微流體器件,，SOI基片制造,，3D封裝，納米壓印,，化合物半導(dǎo)體器件和功率器件等領(lǐng)域,。

EVG是世界上為數(shù)不多的可以商業(yè)化納米壓印設(shè)備的好的公司，可為客戶提供完整的納米壓印方案,，包括熱壓印,、紫外壓印、微接觸印刷,。EVG公司以其zhuan li的極其優(yōu)異的對準(zhǔn)技術(shù)和好的的熱壓技術(shù)為納米壓印的成功實(shí)施打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ),。

EVG510HE是一款半自動的熱壓印設(shè)備，用于硬模壓印和納米印刷,。該熱壓印系統(tǒng)配備了一個(gè)通用的熱壓腔室,，具備高真空和高接觸壓力能力，可以處理用于熱壓印的所有聚合物材料,。EVG510HE可以實(shí)現(xiàn)長寬比的熱壓印和多重脫模工藝,，為客戶提供高質(zhì)量的圖形轉(zhuǎn)移和納米級分辨率。

二,、應(yīng)用范圍

納米壓印技術(shù)主要應(yīng)用于如下方面：

LEDS 制作,，LED PSS納米壓印工藝，LED納米透鏡陣列,；微流體學(xué),；芯片實(shí)驗(yàn)室；抗反射層,； 納米壓印光柵,； 蓮花效應(yīng)；光子帶隙,；光學(xué)及通訊：光晶體,，激光器件；生物技術(shù)解決方案：醫(yī)藥分析,，血液分析,，細(xì)胞生長。

• 主要特點(diǎn)

1. 用于聚合物襯底和旋涂樹脂的熱壓??；
2. 自動化熱壓印程序；
3. EVGzhuan li的單獨(dú)對準(zhǔn)技術(shù)用于壓印和印刷前對準(zhǔn),；
4. 全程軟件控制工藝流程的運(yùn)行,；
5. 外置熱壓脫模和冷卻臺,；
6. 紫外納米壓印可選

四,、技術(shù)參數(shù)