性能:
 

1,、真空吸附6"卡盤: 有4",， 6"，8"產(chǎn)品可選

2,、卡盤X-Y方向線性移動行程：6"-6"

3,、卡盤上/下移動行程：4mm

4、全新設(shè)計,，體積小重量輕,，可便攜使用

5、同軸滑臺,，單手即可操控X-Y兩軸的移動

6,、線性無回差調(diào)節(jié)

7、改進的低重心設(shè)計使臺體更加穩(wěn)定

8,、吸盤可快速升降也可精細慢調(diào),，故樣品在Z軸方向可快速調(diào)節(jié)也可細步慢調(diào)

9、適用領(lǐng)域：6”晶圓或其他樣品點測,，包括大學與科研單位、晶圓廠,、光電器件,、IV/CV及RF測試等