低溫冷卻液循環(huán)泵的應用范圍:
對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻:單晶片洗凈轉載,、印刷機,、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置,、離子鍍裝置,、蝕刻裝置、單晶片處理裝置,、切片機,、包裝機、顯影劑的溫度管理,、露光裝置,、生磁部分的加熱裝置等。
低溫冷卻液循環(huán)泵對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻:激光加工,、熔接機的發(fā)熱部分,、激光標志裝置、發(fā)生裝置,、二氧化碳激光加工機等,。
其他產業(yè)用機器發(fā)熱部分的冷卻:等離子熔接、自動包裝機,、模具冷卻,、洗凈機械,、鍍金槽、精密研磨機,、射出成型機,、樹脂成型機的成型部分等。
分析檢測機器的發(fā)熱部分的冷卻: 電子顯微鏡的光源,、ICP發(fā)光分光分析裝置的光源部分,、分光光度計的發(fā)熱部分、X線解析裝置的熱源,、自動脈沖調幅器的發(fā)熱部分原子吸光光度計的光源等,。水箱可用的純凈水在機內外循環(huán)冷卻,可保證對水質要求較高的精密儀器的正常運行,,延長精密儀器的使用壽命,。
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