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電容式壓力傳感器的工作原理
壓力傳感器廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,，涉及水利水電,、鐵路交通、智能建筑,、生產(chǎn)自控,、航空航天、軍工,、石化,、油井、電力,、船舶,、機(jī)床,、管道等眾多行業(yè),。
電容式壓力傳感器是利用電容敏感元件將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換成與之成一定關(guān)系的電量輸出的壓力傳感器。特點(diǎn)是,，低的輸入力和侏儒能量,，高動(dòng)態(tài)響應(yīng)，小的自然效應(yīng),，環(huán)境適應(yīng)性好,。
它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個(gè)電極，當(dāng)薄膜感受壓力而變形時(shí),，薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化,，通過測(cè)量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號(hào)。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器,，可分為單電容式壓力傳感器和差動(dòng)電容式壓力傳感器,。