OAI INSTRUMENTS光功率計
OAI INSTRUMENTS是業(yè)內(nèi)生產(chǎn)可靠并精密設(shè)備的MEMS，半導(dǎo)體,，納米技術(shù),，潔凈室自動化和紫外線光測量的優(yōu)秀制造商。OAI系統(tǒng)可同時用于研發(fā)和生產(chǎn)半導(dǎo)體,，MEMS和微流體裝置,。從光罩對準(zhǔn)和UV光源UV電力儀表，OAI是在同行業(yè)中的者超過35年,。OAI光功率計以其測量精度,，重復(fù)性著稱，測量數(shù)據(jù)符合美國NIST標(biāo)準(zhǔn),，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻能量測量及控制,。
產(chǎn)品范圍：OAI INSTRUMENTS光功率計
美國OAI INSTRUMENTS曝光機(jī)、OAI INSTRUMENTS光刻機(jī),、OAI INSTRUMENTS光源,、OAI INSTRUMENTS、OAI INSTRUMENTS光功率計,、OAI INSTRUMENTS分析儀
主要型號：OAI INSTRUMENTS光功率計
Model 306,、Model 308、Model 311,、Model 316,、Model 317、Model 356,、Model 357,、Model 358、Model 457,、Model 458,、Model 459
美國OAI INSTRUMENTS Model 800半自動光刻機(jī)簡介：
光刻方式：接近式，軟,，硬,，真空接觸式
曝光距離：0-3000μm
間隙調(diào)節(jié)步進(jìn)：1um
機(jī)械精度：1.5um
光刻精度：軟接觸2um,硬接觸小于1um
美國OAI INSTRUMENTS Model 6000全自動光刻機(jī)技術(shù)規(guī)格：
光刻方式：接近式,，軟,，硬,，真空接觸式
基底尺寸：2-12寸晶圓或者zui大200mm方形
曝光分辨率：
真空接觸:0.5-0.8um
硬接觸:0.8-1.0um
軟接觸:1.0-3.0um
接近式(20um 間隙):3.0um
曝光均勻性：優(yōu)于±3%
對準(zhǔn)精度：頂面0.5um，底面1.0um（選件）
產(chǎn)量：180片/小時zui大
上海連航機(jī)電科技有限公司是國內(nèi)專業(yè)的進(jìn)口機(jī)電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商,。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件,，提供過程控制技術(shù)咨詢，工業(yè)自動化集成設(shè)計與改造,，成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù),。客戶廣泛分布于全國各大地區(qū)與行業(yè),，主要有：汽車制造,、機(jī)械設(shè)備制造、電力,、石化,、采礦,、鋼鐵,、有色金屬、電氣儀表制造,、食品飲料、橡膠制品,、醫(yī)藥生產(chǎn)、造紙,、紡織,、印刷,、水泥,、玻璃,、環(huán)境設(shè)備,、軍工等。
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