OAI INSTRUMENTS光功率計
OAI INSTRUMENTS是業(yè)內(nèi)生產(chǎn)可靠并精密設(shè)備的MEMS,,半導(dǎo)體,納米技術(shù),,潔凈室自動化和紫外線光測量的優(yōu)秀制造商,。OAI系統(tǒng)可同時用于研發(fā)和生產(chǎn)半導(dǎo)體,MEMS和微流體裝置,。從光罩對準和UV光源UV電力儀表,,OAI是在同行業(yè)中的者超過35年。OAI光功率計以其測量精度,,重復(fù)性著稱,,測量數(shù)據(jù)符合美國NIST標準,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻能量測量及控制,。
產(chǎn)品范圍:OAI INSTRUMENTS光功率計
美國OAI INSTRUMENTS曝光機,、OAI INSTRUMENTS光刻機、OAI INSTRUMENTS光源,、OAI INSTRUMENTS,、OAI INSTRUMENTS光功率計、OAI INSTRUMENTS分析儀
主要型號:OAI INSTRUMENTS光功率計
Model 306,、Model 308,、Model 311、Model 316,、Model 317,、Model 356、Model 357,、Model 358,、Model 457、Model 458,、Model 459
美國OAI INSTRUMENTS Model 800半自動光刻機簡介:
光刻方式:接近式,,軟,,硬,真空接觸式
曝光距離:0-3000μm
間隙調(diào)節(jié)步進:1um
機械精度:1.5um
光刻精度:軟接觸2um,硬接觸小于1um
美國OAI INSTRUMENTS Model 6000全自動光刻機技術(shù)規(guī)格:
光刻方式:接近式,,軟,,硬,真空接觸式
基底尺寸:2-12寸晶圓或者zui大200mm方形
曝光分辨率:
真空接觸:0.5-0.8um
硬接觸:0.8-1.0um
軟接觸:1.0-3.0um
接近式(20um 間隙):3.0um
曝光均勻性:優(yōu)于±3%
對準精度:頂面0.5um,,底面1.0um(選件)
產(chǎn)量:180片/小時zui大
上海連航機電科技有限公司是國內(nèi)專業(yè)的進口機電產(chǎn)品與技術(shù)集成服務(wù)商,。公司專注于為中國工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進口備品備件,提供過程控制技術(shù)咨詢,,工業(yè)自動化集成設(shè)計與改造,,成套設(shè)備與技術(shù)引進等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)??蛻魪V泛分布于全國各大地區(qū)與行業(yè),,主要有:汽車制造、機械設(shè)備制造,、電力,、石化、采礦,、鋼鐵,、有色金屬、電氣儀表制造,、食品飲料,、橡膠制品、醫(yī)藥生產(chǎn),、造紙,、紡織、印刷,、水泥,、玻璃、環(huán)境設(shè)備,、軍工等,。