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產(chǎn)品簡介
半自動快速退火爐RTP-SA-12是在保護氣氛下的半自動立式快速退火系統(tǒng),，可兼容4-12英寸晶圓Wafer,。
詳細(xì)介紹
半自動快速退火爐RTP-SA-12是在保護氣氛下的半自動立式快速退火系統(tǒng)，可兼容4-12英寸晶圓Wafer,。
半導(dǎo)體快速退火爐的產(chǎn)品優(yōu)勢
?采用紅外鹵素?zé)艄芗訜?，冷卻采用風(fēng)冷；
?快速PID溫控,，可精準(zhǔn)控制溫度升溫,，保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性；
?采用平行氣路進氣方式,，氣體進出口設(shè)置在晶圓表面,，避免退火過程中冷點產(chǎn)生，保證良好的溫度均勻性,；
?大氣與真空處理方式均可選擇,，實現(xiàn)進氣前氣體凈化處理；
?標(biāo)配兩組工藝氣體,，最多可擴展至6組工藝氣體,。
晟鼎精密核心產(chǎn)品系列有接觸角測量儀、等離子清洗機,、USC干式超聲波除塵清洗機,、離子靜電消除裝置、半導(dǎo)體快速退火爐等表面性能處理及檢測儀器設(shè)備。