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快速退火爐是利用鹵素紅外燈作為熱源，通過極快的升溫速率,，將材料在極短的時(shí)間內(nèi)從室溫加熱到300℃-1250℃,，從而消除材料內(nèi)部的一些缺陷，改善產(chǎn)品性能,。

全自動(dòng)雙腔半導(dǎo)體退火爐,，RTP-DTS-8是一款全自動(dòng)雙腔快速退火設(shè)備，可兼容6-8英寸晶圓Wafer,。

全自動(dòng)雙腔半導(dǎo)體退火爐產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

全自動(dòng)雙腔設(shè)計(jì),，有效提升產(chǎn)能；

最高溫度可達(dá)1250℃,，具有超高溫場(chǎng)均勻性,；

具備穩(wěn)定的溫度重現(xiàn)性；

能夠滿足SIC量產(chǎn)化制程需求,。

晟鼎是一家集研發(fā)與設(shè)計(jì),、生產(chǎn)、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的高新技術(shù)企業(yè),。致力于提供表面性能處理及檢測(cè)整體解決方案,。