產(chǎn)品簡介
全自動雙腔半導(dǎo)體退火爐,,RTP-DTS-8是一款全自動雙腔快速退火設(shè)備,可兼容6-8英寸晶圓Wafer,。
詳細(xì)介紹
快速退火爐是利用鹵素紅外燈作為熱源,,通過極快的升溫速率,將材料在極短的時間內(nèi)從室溫加熱到300℃-1250℃,,從而消除材料內(nèi)部的一些缺陷,,改善產(chǎn)品性能。
全自動雙腔半導(dǎo)體退火爐,,RTP-DTS-8是一款全自動雙腔快速退火設(shè)備,,可兼容6-8英寸晶圓Wafer。
全自動雙腔半導(dǎo)體退火爐產(chǎn)品優(yōu)勢:
全自動雙腔設(shè)計,,有效提升產(chǎn)能,;
最高溫度可達(dá)1250℃,具有超高溫場均勻性,;
具備穩(wěn)定的溫度重現(xiàn)性,;
能夠滿足SIC量產(chǎn)化制程需求,。
晟鼎是一家集研發(fā)與設(shè)計、生產(chǎn),、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的高新技術(shù)企業(yè),。致力于提供表面性能處理及檢測整體解決方案。