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產(chǎn)品原理：通過對(duì)工藝氣體施加電場(chǎng)使電離化為等離子體,。等離子體的“活性"組分包括：離子、電子,、原子,、自由活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）,、光子等,。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)進(jìn)行氧化、還原,、裂解,、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì)，從而優(yōu)化材料表面性能,，實(shí)現(xiàn)清潔,、改性、刻蝕等目的,。

石墨舟干法清洗技術(shù),，光伏行業(yè)石墨舟鍍層專用，優(yōu)點(diǎn)：占地面積小,、代替酸洗,、一站式清洗、干法清洗,、效率高,。

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