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等離子清洗機處理粉體材料,，可以處理各種形狀的樣品 對于復雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案,。 真空等離子清洗更可實現(xiàn)對固體樣品內部位置進行清洗。

真空等離子清洗機 SPV60 技術規(guī)格書

（滾輪式腔體方案）

（實際外觀以出廠的為準）

深入表面 · 魅力科學

真空等離子清洗的優(yōu)勢

等離子清洗作為重要的材料表面改性方法,，已經在眾多領域廣泛使用,。 與傳統(tǒng)的一些清洗方法，如超聲波清洗,、UV 清洗等,，具有以下優(yōu)點：

（A）處理溫度低

處理溫度可以低至 80℃、50℃以下,，低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響,。

（B）處理全程無污染

等離子清洗機本身是很環(huán)保的設備，不產生任何污染,，處理過程也不產生任何污染,。

（C）處理效果穩(wěn)定

等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定，常規(guī)樣品處理后較長時間內保持效果良好,。

（D）可以處理各種形狀的樣品 對于復雜形狀的樣品,，等離子清洗都能找到合適的解決方案。 真空等離子清洗更可實現(xiàn)對固體樣品內部位置進行清洗,。

等離子清洗機的結構主要分為四大部分組成：控制系統(tǒng),、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體,、工藝氣

體系統(tǒng),、以及真空泵系統(tǒng)。

（A）控制系統(tǒng)： 控制系統(tǒng)的功能在于控制整個設備的運行,，包括人機界面（觸摸屏）,、PLC,、電氣電路。采 用全自動控制系統(tǒng)的真空等離子清洗,，可實現(xiàn)多種模式多種程序對清洗設備進行控制,，滿足 不同客戶的需求。

（B）激勵電源系統(tǒng)：

激勵電源主要有三類：40KHz 的中頻激勵電源,，13.56MHz 的射頻激勵電源,，2.45GHz 的 微波激勵電源。目前業(yè)界主要采用的是射頻激勵電源和中頻激勵電源,。各自應用場合不同,。

（C）真空腔體： 真空腔體主要是分為三種材質的：1）鋁合金腔體，2）不銹鋼真空腔體,，3）石英腔體,。根 據(jù)用戶的不同需求，可實現(xiàn)不同的放電模式和適用不同的樣品尺寸和產能,。

工藝氣體包括流量計,、氣壓閥等，用戶可靈活選擇多路的工藝氣體方案,，氬氣,、氧氣、氫氣,、

氮氣,、四氟化碳等，可滿足不同工藝方案要求,。清洗各種產品表面,。

（E）真空泵： 真空泵分為油泵、干泵,、羅茨泵,，油泵主要采用雙級旋片泵，根據(jù)用戶所采用的腔體體積,、 工作效率,、環(huán)境要求來制定真空泵的方案。

滾輪式腔體技術參數(shù)

滾輪式腔體尺寸參數(shù)