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SPV真空等離子體清洗機(jī),用于批量處理的超大腔體等離子體處理系統(tǒng),真空等離子清洗機(jī)通過(guò)廣泛的研究和開(kāi)發(fā),提供*的真空和氣體流動(dòng)技術(shù).

真空等離子體清洗機(jī)：使用脈沖RF來(lái)增強(qiáng)等離子體聚合膜的性能，是原型,，先導(dǎo)或生產(chǎn)加工基材的理想選擇,。可靠性和工藝質(zhì)量與達(dá)因旆*的擱架設(shè)計(jì)和等離子體中發(fā)現(xiàn)的反應(yīng)離子的優(yōu)化應(yīng)用相結(jié)合,，提高了處理均勻性，同時(shí)縮短了處理時(shí)間,。用于處理所有類(lèi)型零件和部件的成本和空間有效的真空等離子體處理機(jī),。等離子體室由11號(hào)不銹鋼和鋁制固定裝置構(gòu)成，具有出色的耐用性,。該腔室具有多個(gè)可拆卸和可調(diào)節(jié)的架子,，可容納一系列部件，可容納多達(dá)14個(gè)電極位置,。PD-1000標(biāo)配配備兩個(gè)質(zhì)量流量控制器,，用于*氣體控制。

SPV真空等離子體清洗機(jī)：是一種有效的等離子體處理系統(tǒng),，具有用于批量處理的超大腔體,。它使用脈沖40KHz射頻發(fā)生器來(lái)增強(qiáng)等離子體聚合膜的性能。是一種經(jīng)濟(jì)的真空等離子處理機(jī),，用于處理清洗各種零部件,。泵，腔室,，控制電子器件和RF發(fā)生器都包含在其外殼內(nèi),。 SPV等離子清洗機(jī)系統(tǒng)提供滑出水平貨架，便于裝卸,。其緊湊,，服務(wù)友好的設(shè)計(jì)占地面積小，專(zhuān)為從系統(tǒng)前后的維護(hù)而設(shè)計(jì),。因此,，多個(gè)真空等離子體處理系統(tǒng)可以并排放置，以zui大化占地面積利用率,。泵定位在輥?zhàn)由?，便于拆卸?？刂葡到y(tǒng)可以在多個(gè)級(jí)別進(jìn)行密碼保護(hù),，以防止未經(jīng)授權(quán)的配方修改。這確保系統(tǒng)從*批到zui后一次的性能一致,。等離子體處理系統(tǒng)結(jié)合了系統(tǒng)的可靠性和工藝質(zhì)量,。等離子體室容納多達(dá)14個(gè)電極工作架，并且能夠?qū)崿F(xiàn)比常規(guī)真空等離子更多的體積和更大的襯底處理,。配有四個(gè)質(zhì)量流量控制器,，用于*氣體控制,。

等離子體處理系統(tǒng)：大型等離子體處理腔來(lái)處理大基板或許多較小的基板。使用單步過(guò)程提供業(yè)界的等離子體均勻性,。是一個(gè)獨(dú)立的系統(tǒng),，具有節(jié)省空間的緊湊型機(jī)箱，具有易于訪問(wèn)的前負(fù)載門(mén),，并且容納真空系統(tǒng),，等離子體室，控制電子設(shè)備和13.56MHz電源,?？焖僬婵毡孟陆挡⒋蟠筇岣吡斯に囇h(huán)時(shí)間，進(jìn)一步增加了系統(tǒng)的吞吐量和生產(chǎn)率,。PD-Pro系統(tǒng)標(biāo)配配備四個(gè)質(zhì)量流量控制器,，用于*氣體控制和zui多13個(gè)垂直基板處理單元。

通過(guò)廣泛的研究和開(kāi)發(fā),，提供*的真空和氣體流動(dòng)技術(shù),，新的電極設(shè)計(jì)和的溫度管理。這些關(guān)鍵設(shè)計(jì)元素和工藝配方參數(shù)的仔細(xì)平衡提供了一種系統(tǒng),，可為關(guān)鍵應(yīng)用程序創(chuàng)建zui統(tǒng)一的處理,。

在PCB制造過(guò)程中為大型柔性或剛性面板的回蝕，去污和表面活化提供出色的等離子體處理均勻性,，等離子體處理均勻性是HDI,，柔性和剛性電路板制造的解密和回蝕應(yīng)用中的關(guān)鍵操作要求。等離子體可以提供比化學(xué)或機(jī)械過(guò)程更高的均勻性和再現(xiàn)性,。SPA系列等離子體處理系統(tǒng)采用等離子體技術(shù),，在高通量下產(chǎn)生優(yōu)異的均勻性。

用于大面積真空等離子體清洗機(jī)的SPV系列可提供各種室尺寸,，可選擇垂直或水平面板配置,。定制配置可用于大型和厚板面板要求。行業(yè)驗(yàn)證的等離子體技術(shù)在層壓之前提供優(yōu)異的表面處理均勻性,，以提高粘附性和可靠性,。的設(shè)計(jì)，經(jīng)濟(jì)的天然氣消耗,，占地面積小以及有吸引力的系統(tǒng)定價(jià)都有助于降低擁有成本,。容易裝載和多功能機(jī)架允許zui大的吞吐量，單級(jí)等離子體處理和容量選項(xiàng),，可為廣泛的PCB制造要求提供出色的產(chǎn)量,。