真空等離子體清洗設(shè)備模型和配置,有效的等離子體處理
真空等離子體清洗設(shè)備是一種有效的等離子體處理,有一個(gè)特大的腔室進(jìn)行批量處理,它是一種成本和空間效率高的真空等離子處理機(jī)器,用于處理各種部件和部件.
SPV型真空等離子體清洗系統(tǒng)是臺式的,*獨(dú)立的,需要zui小的工作臺空間,。該系統(tǒng)的底盤有等離子室,、控制電子,、13.56 MHz的射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)(只有真空泵是系統(tǒng)外部的),。維護(hù)訪問是通過一個(gè)相互連接的門或可移動(dòng)的面板提供的,。等離子體腔體支持7個(gè)可移動(dòng)和可調(diào)節(jié)的動(dòng)力或接地的架子,以適應(yīng)各種各樣的部件,、組件和包括雜志,、托盤和船只在內(nèi)的部分載體。真空等離子體處理系統(tǒng)可以容納大量的過程氣體,,包括氬,、氧,、氫,、氦和氟化氣體,。這兩種模型都帶有兩個(gè)電子質(zhì)量流控制器以達(dá)到的氣體控制,另外兩個(gè)可以隨意選擇(4個(gè)總zui大值)。用于驗(yàn)證過程中使用的定期校準(zhǔn)要求的便利設(shè)施連接。
SPV真空等離子體清洗系統(tǒng),,前訪問允許方便地訪問所有內(nèi)部組件。該泵的定位是滾軸,,便于拆卸,。該等離子體室由11個(gè)規(guī)格的不銹鋼材料制成,,具有堅(jiān)固耐用的耐用性,。該房間有多個(gè)可移動(dòng)和可調(diào)節(jié)的架子,以容納各種各樣的航空公司,包括雜志,、托盤,、威化和船只,。采用可選高吞吐量貨架的SPA等離子處理系統(tǒng),結(jié)合了等離子處理系統(tǒng)的可靠性和工藝質(zhì)量,,并證明了*的貨架設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn),,優(yōu)化了在射頻等離子體中發(fā)現(xiàn)的活性離子的使用,提高了處理均勻性,同時(shí)降低了工藝時(shí)間,,等離子處理系統(tǒng)允許從一系列的過程氣體中選擇,如氬,、氫和氦,。該標(biāo)準(zhǔn)配備了4個(gè)質(zhì)量流量控制器,,用于*氣體控制,。有槽的雜志是垂直放置在房間內(nèi)的。
此外,,開槽的空隙可以垂直放置在腔體內(nèi),。一般來說,每個(gè)腔體至少有20個(gè)鉛框架,。根據(jù)真空等離子機(jī)腔體的大小,,等離子室可以容納多達(dá)12個(gè)腔體空隙。
等離子體SPC-1500真空等離子體清洗設(shè)備是一種有效的等離子體處理,,有一個(gè)特大的腔室進(jìn)行批量處理,。它是一種成本和空間效率高的真空等離子處理機(jī)器,用于處理各種部件和部件,。它是*獨(dú)立的,,并且需要zui少的地面空間。泵,、室,、控制電子和13.56 MHz的射頻發(fā)生器都包含在它的外殼內(nèi)。等離子體處理設(shè)備也提供滑出水平的貨架,,便于裝卸,。它的緊湊和服務(wù)友好的設(shè)計(jì)有一個(gè)小的占地面積,并且是為系統(tǒng)的前后維護(hù)而設(shè)計(jì)的,。因此,,可以將多個(gè)真空等離子體處理系統(tǒng)并排放置,,以zui大限度地利用地板空間利用率。該泵的定位是滾軸,,便于拆卸,。