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DOE掩膜,可消除不需要的高衍射級次光學
DOE掩膜,,衍射光學元件掩膜
DOE掩膜,,主要用于精密的控制大功率激光的孔徑,它的結構是在玻璃基板上鍍有一層很?。?span style=";padding: 0px">~1μm)的圖案反射涂層,。
DOE掩膜的典型參數(shù)
衍射高級次消去膜通常分為兩種不同類型的掩膜
一種是電介質反射掩膜
電介質反射掩模,英文名為Dielectric Reflective Mask,,是在熔融石英的基底上,,鍍一層由非常薄(?1um)的反射涂層圖案,。涂層部分反射入射光束,,而未涂層部分透射光束。
電介質反射掩膜的特性:
針對單波長設計,,高損傷閾值,,低吸收率
反射部分,> 99%的高反射率
透明部分,,> 95%的高透射率
很薄的掩膜層(~1um)
另一種是透射成像掩模
透射成像掩膜,,英文名為Transmissive Imaging Mask,透射式掩模的特點是透射全部入射光,,沒有任何阻擋,,透射掩模使用衍射圖案以大角度漫射不需要的波段。
它的工作原理如下:
中心有一個和反射式掩膜類似的透明區(qū)域,,光線直接透過,,周圍區(qū)域具有衍射圖案,使不需要的入射光以大角度出射,。配合聚焦鏡后焦平面放置的小孔,,就可以阻擋大部分漫射光,從而達到阻擋多余激光的效果,。
透射掩膜的特點:
不會有反射光的風險,,導致?lián)p壞光學系統(tǒng)
~100%傳輸效率
比反射式掩模更高的激光損傷閾值
價格實惠
DOE掩膜的應用領域:
縮減傳輸區(qū)域,設置一個很小的傳輸區(qū)域
控制激光衍射圖案的大小
DOE掩膜的型號規(guī)格:
DOE掩膜,,衍射光學元件掩膜
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