X熒光光譜儀(XRF)由激發(fā)源(X射線管)和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成,。X射線管產(chǎn)生入射X射線(一次X射線),,激發(fā)被測(cè)樣品,產(chǎn)生X熒光(二次X射線),,探測(cè)器對(duì)X熒光進(jìn)行檢測(cè),。
技術(shù)原理
受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線,并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性,。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來(lái)的二次X射線的能量及數(shù)量,。然后,儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量,。
元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷,,同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長(zhǎng)的X射線,根據(jù)莫斯萊定律,,熒光X射線的波長(zhǎng)λ與元素的原子序數(shù)Z有關(guān),,其數(shù)學(xué)關(guān)系如下:
λ=K(Z− s) −2
式中K和S是常數(shù)。
而根據(jù)量子理論,,X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流,,每個(gè)光具有的能量為:
E=hν=h C/λ
式中,E為X射線光子的能量,,單位為keV,;h為普朗克常數(shù);ν為光波的頻率,;C為光速,。
因此,只要測(cè)出熒光X射線的波長(zhǎng)或者能量,就可以知道元素的種類,這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ),。此外,熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系,,據(jù)此,可以進(jìn)行元素定量分析,。