MTS位移傳感器又稱為線性傳感器，是一種屬于金屬感應(yīng)的線性器件,，傳感器的作用是把各種被測物理量轉(zhuǎn)換為電量,。在生產(chǎn)過程中，位移的測量一般分為測量實(shí)物尺寸和機(jī)械位移兩種,。按被測變量變換的形式不同,，位移傳感器可分為模擬式和數(shù)字式兩種。模擬式又可分為物性型和結(jié)構(gòu)型兩種,。常用位移傳感器以模擬式結(jié)構(gòu)型居多,，包括電位器式位移傳感器、電感式位移傳感器,、自整角機(jī),、電容式位移傳感器、電渦流式位移傳感器,、霍爾式位移傳感器等,。數(shù)字式位移傳感器的一個(gè)重要優(yōu)點(diǎn)是便于將信號(hào)直接送入計(jì)算機(jī)系統(tǒng)。這種傳感器發(fā)展迅速,，應(yīng)用日益廣泛,。
隨著對(duì)測量精度要求的提高，以柵距為單位已不能滿足要求,，需要采取適當(dāng)?shù)拇胧?duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分,。所謂細(xì)分就是在莫爾條紋信號(hào)變化一個(gè)周期內(nèi)，發(fā)出若干個(gè)脈沖,，以減少脈沖當(dāng)量,。如一個(gè)周期內(nèi)發(fā)出n個(gè)脈沖，則可使測量精度提高n備,，而每個(gè)脈沖相當(dāng)于原來柵距的1/n,。由于細(xì)分后計(jì)數(shù)脈沖頻率提高了n倍，因此也稱n倍頻,。
通常用的有兩種細(xì)分方法:其一:直接細(xì)分,。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個(gè)光電元件，可得到兩個(gè)相位差90o的電信號(hào),，用反相器反相后就得到四個(gè)依次相差90o的交流信號(hào),。同樣，在兩莫爾條紋間放置四個(gè)依次相距1/4條紋間距的光電元件,，也可獲得四個(gè)相位差90o的交流信號(hào),，實(shí)現(xiàn)四倍頻細(xì)分。其二:電路細(xì)分,。
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