潔凈手術(shù)室凈化工程 生物無菌實驗室裝修

凈化工程是一個應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè),，（21世紀(jì)）在電子信息,、半導(dǎo)體,、光電子,、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生,、生物工程,、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用,，并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求,，等級差別也較大。

凈化工程是指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn),、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程,。

潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感,。隨著空氣潔凈度要求的提高,，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,，但作為總的原則看,，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小,。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,，溫度上升1度,，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫,，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后,，對產(chǎn)品將有污染,，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度,，濕度過高產(chǎn)生的問題更多,。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露,，如果發(fā)生在精密裝置或電路中,，就會引起各種事故,。相對濕度在50%時易生銹。此外,，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除,。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時,，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)*濕度范圍為35—45%,。

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