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半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室塵埃粒子濃度等級劃分原則

無塵車間也叫潔凈廠房,、潔凈室(Clean Room）、無塵室,，是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子,、有害空氣、細(xì)jun等污染物排除，并將室內(nèi)的溫度,、潔凈度,、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布,、噪音震動及照明,、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計的房間,。即不論外在空氣條件如何變化,，其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求潔凈度、溫濕度及壓力等級能特性,。

潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè),、高技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機(jī)械工業(yè)（如陀螺儀,、微型軸承等加工）,、半導(dǎo)體工業(yè)（如大規(guī)模集成電路生產(chǎn)）等對環(huán)境的要求，促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展,。國內(nèi)曾統(tǒng)計過,，在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64為儲存器僅2%,。目前在精密機(jī)械,、半導(dǎo)體、宇航,、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍,。

經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)達(dá)的國家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)，都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級,，我國于1984年頒布《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》（GBJ73-84）,，1996年該規(guī)范進(jìn)行了較大的修改，1990年頒布《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JGJ71-90）以指導(dǎo)施工和驗(yàn)收的重要文件,。依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【FederalAtandard（FS）209E,，1992】，可將無塵室分為六級：分別是1級,、10級,、100級、1000級,、10000級,、100000級。

如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,，則可假設(shè)塵粒的尺寸是0.5um,，無塵室等級應(yīng)以特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺）,，1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下,，密度不大于35顆/立方英尺）。

1級,；這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),，對集成電路的精確要求位亞微米。

10級,；這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè),。

100級；很多人認(rèn)為,。這是使用范圍面廣,，因而是重要的無塵車間。人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,，以說明“無菌"的或“無塵"的環(huán)境要求，100級無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,，這一潔凈室大量應(yīng)用于植入體內(nèi)物品的制造,，外科手術(shù)，包括集成器的制造,，那些對細(xì)jun感染特別敏感的病人的隔離治療,。

1000級；這個級別的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),，還用于測試,，裝配高質(zhì)量微型軸承等。

10000級,；萬級無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,，某些情況也用于食品飲料工業(yè)，此外,，萬級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用,。

100000級；十萬級無塵車間用于很多的工業(yè)部門,，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,，用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)，液壓或氣壓的制造,，食品飲料的生產(chǎn),，醫(yī)藥工業(yè)也常常使用這一級無塵車間。

無塵車間是一個多功能的歸納整休,，多功能表現(xiàn)在以下兩個方面,。

多專業(yè)--修建、空調(diào)、凈化,、純水,、純氣；

多參數(shù)--空氣潔凈度,、細(xì)菌濃度以及空氣的風(fēng)量,、壓力、噪聲,、照度,，萬級無塵車間強(qiáng)度高，隔熱保溫,，可作天花圍護(hù)布局板材承重,，抗彎抗壓，一般潔凈室比較少用梁柱,。

無塵車間設(shè)計要點(diǎn)：

一,、滿足生產(chǎn)工藝對建筑設(shè)計的要求，實(shí)現(xiàn)高性能的制造空間與設(shè)施,。在對凈化工程 無塵車間進(jìn)行總圖設(shè)計,、平面布置、剖面設(shè)計時,，須充分考慮場地的合理利用和滿足工藝生產(chǎn)的要求,。在對凈化無塵車間工程的建筑進(jìn)行設(shè)計時，須處理好潔凈區(qū)域與其相關(guān)的輔助區(qū)的關(guān)系,。

二,、實(shí)現(xiàn)能夠經(jīng)濟(jì)運(yùn)行的設(shè)施，節(jié)約能源,、易于維護(hù),、降低造價。凈化無塵車間建筑設(shè)計,，須確保凈化無塵車間內(nèi)清潔,、易清掃、防止內(nèi)外污染,，防止微粒產(chǎn)生,、滯留和積存。

三,、應(yīng)使用可靠性高的運(yùn)行設(shè)施,，凈化無塵車間建筑設(shè)計，應(yīng)確保建筑設(shè)備的安全運(yùn)行,，當(dāng)一旦出現(xiàn)事故后,，確保人員,、財產(chǎn)安全。主體結(jié)構(gòu)應(yīng)具備同凈化無塵車間內(nèi)的工藝裝備水平,，建筑處理和裝飾水平相適應(yīng)的等級水平,，潔凈廠房的耐久性、耐火能力,，裝修應(yīng)與裝備水平相互協(xié)調(diào),，使投資長期長揮作用。

四,、應(yīng)實(shí)現(xiàn)能夠適應(yīng)將來變化的設(shè)施,，潔凈廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)具有靈活性，為生產(chǎn)工藝的調(diào)整創(chuàng)造條件,。

蘇州宏瑞凈化科技有限公司研發(fā)生產(chǎn)的HR-FMS潔凈環(huán)境在線監(jiān)測系統(tǒng)可以通過RJ45網(wǎng)絡(luò)接口,、WiFi、485 (moudbus）等,，將數(shù)據(jù)傳輸給PC終端,，為用戶提供實(shí)時準(zhǔn)確的車間微粒數(shù)量和凈化等級，專業(yè)應(yīng)用于電子行業(yè),、制藥車間,、食品、藥品車間,、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機(jī)械加工車間等潔凈環(huán)境,；用戶可根據(jù)需要增加或減少控制終端,，可實(shí)現(xiàn)7*24實(shí)時遠(yuǎn)程自動監(jiān)測，有助于企業(yè)提升自動化,、精細(xì)化管理,。