芯片車間潔凈度要求
近十多年來科學(xué)技術(shù)日新月異,,對于新產(chǎn)品的高精密度化,、細(xì)小型化之需求更為迫切,同時對無塵凈化技術(shù)的設(shè)計和發(fā)展提出了更高的要求,。萬級無塵車間在半導(dǎo)體,、精密制造、液晶制造,、光學(xué)制造,、線路板制造等行業(yè)非常多見。電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計是一項綜合的技術(shù),,只有充分了解電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計特點,,做到設(shè)計合理,才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低,,提高生產(chǎn)效率,。
電子制造業(yè)萬級無塵車間的潔凈度等級要求高,風(fēng)量,、溫度,、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度,、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控,,另外該類潔凈室對靜電要求嚴(yán)格。其中對濕度的要求尤甚,。因為過于干燥的廠房內(nèi)易產(chǎn)生靜電,,造成CMOS集成損壞。一般來說,,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)【推薦使用溫濕度變送器實時監(jiān)測潔凈環(huán)境的溫濕度】,這時可有效地消除靜電,,并使人也感覺舒適,。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,,由于電子產(chǎn)品在制造,、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴(yán)格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,,同時還對其環(huán)境的溫濕度,、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定,。
1,、萬級電子無塵車間參數(shù)要求換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次,;1000≥30次,;100≥500次;
2,、壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa,;
3、平均風(fēng)速:10級,、100級0.3-0.5m/s,;
4、溫度:冬季>16℃,;夏季<26℃,;波動±2℃;
5,、濕度:45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜,;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電,。
6、噪聲:≤65dB(A);
7,、照度:300LX,;
8、新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%,。
萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實現(xiàn)潔凈效果,。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動,,拌有回流或渦流,不同等級的凈化車間,,主要是依靠單位時間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實現(xiàn),。
以上是芯片車間潔凈度要求的簡單介紹,在檢測芯片車間潔凈度時會需要用到塵埃粒子計數(shù)器,、浮游菌采樣器,,壓差儀,風(fēng)量罩等潔凈室檢測儀器,,而宏瑞科技作為近30年的潔凈環(huán)境檢測儀器生產(chǎn)廠家,,合作伙伴涉及電子電工、食品,、衛(wèi)生,、航天、醫(yī)療器械等諸多領(lǐng)域,,如有需要,,可隨時與我公司聯(lián)系!
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