芯片車間潔凈度要求
近十多年來科學(xué)技術(shù)日新月異,,對(duì)于新產(chǎn)品的高精密度化,、細(xì)小型化之需求更為迫切,同時(shí)對(duì)無塵凈化技術(shù)的設(shè)計(jì)和發(fā)展提出了更高的要求,。萬級(jí)無塵車間在半導(dǎo)體,、精密制造、液晶制造,、光學(xué)制造,、線路板制造等行業(yè)非常多見。電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)是一項(xiàng)綜合的技術(shù),,只有充分了解電子制造業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)特點(diǎn),,做到設(shè)計(jì)合理,才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低,,提高生產(chǎn)效率,。
電子制造業(yè)萬級(jí)無塵車間的潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量,、溫度,、濕度、壓差,、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度,、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對(duì)靜電要求嚴(yán)格,。其中對(duì)濕度的要求尤甚,。因?yàn)檫^于干燥的廠房?jī)?nèi)易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞,。一般來說,,電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)【推薦使用溫濕度變送器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)潔凈環(huán)境的溫濕度】,,這時(shí)可有效地消除靜電,,并使人也感覺舒適。芯片生產(chǎn)車間,、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分,,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對(duì)室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求嚴(yán)格,,主要以控制微粒和浮塵為主要對(duì)象,,同時(shí)還對(duì)其環(huán)境的溫濕度,、新鮮空氣量,、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
1,、萬級(jí)電子無塵車間參數(shù)要求換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次,;10000級(jí)≥20次,;1000≥30次;100≥500次,;
2,、壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa;
3,、平均風(fēng)速:10級(jí),、100級(jí)0.3-0.5m/s;
4,、溫度:冬季>16℃,;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃,;
5,、濕度:45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜,;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電,。
6、噪聲:≤65dB(A),;
7,、照度:300LX;
8,、新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%,。
萬級(jí)凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,,來實(shí)現(xiàn)潔凈效果,。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng),拌有回流或渦流,,不同等級(jí)的凈化車間,,主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實(shí)現(xiàn)。
以上是芯片車間潔凈度要求的簡(jiǎn)單介紹,,在檢測(cè)芯片車間潔凈度時(shí)會(huì)需要用到塵埃粒子計(jì)數(shù)器,、浮游菌采樣器,壓差儀,,風(fēng)量罩等潔凈室檢測(cè)儀器,,而宏瑞科技作為近30年的潔凈環(huán)境檢測(cè)儀器生產(chǎn)廠家,合作伙伴涉及電子電工,、食品,、衛(wèi)生、航天、醫(yī)療器械等諸多領(lǐng)域,,如有需要,,可隨時(shí)與我公司聯(lián)系!
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