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SAT8-1BXSJ18-1E802/4D耐高溫接近開關

耐高溫接近傳感器是工業(yè)實踐中為常用的一種壓力變送器,，應用于各種工業(yè)自控環(huán)境,，涉及石油管道、水利水電,、鐵路交通,、智能建筑、自控,、航空航天,、石化,、油井,、電力、船舶,、機床,、管道送風、鍋爐,，熔爐等眾多行業(yè),。

耐高溫接近傳感器是為了解決在高溫環(huán)境下對各種、液體的壓力進行測量,。主要用于測量鍋爐,、管道、高溫反應容器內的壓力,、井下壓力和各種發(fā)動機腔體內的壓力,、高溫油品液位與檢測、油井測壓等領域,。目前,，研究比較多的耐高溫接近傳感器主要有等半導體傳感器，還有濺射合金薄膜耐高溫接近傳感器,、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等,。半導體電容式壓力傳感器相比壓阻式壓力傳感器其靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好,、功耗小,，且只對壓力敏感，對應力不敏感,，因此,，電容式壓力傳感器在許多領域得到應用,。

耐高溫接近傳感器由硅膜片、襯底,、下電極和絕緣層構成,。其中下電極位于厚支撐的襯底上。電極上蒸鍍一層絕緣層,。硅膜片則是利用各向異性腐蝕技術,，在一片硅片上從正反面腐蝕形成的。上下電極的間隙由硅片的腐蝕深度決定,。硅膜片和襯底利用鍵合技術鍵合在一起,，形成具有一定穩(wěn)定性的硅膜片電容壓力傳感器。

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