一,、brooks氣體質(zhì)量流量控制器概覽

Brooks的數(shù)字與模擬熱式質(zhì)量流量控制器具有業(yè)界*的性能—我們的許多產(chǎn)品都已連續(xù)工作了20年以上,。我們的新型熱式質(zhì)量流量設(shè)備在響應(yīng)時間、精度,、可重復(fù)性,、調(diào)節(jié)比及自診斷方面均具有顯著的優(yōu)勢。

我們的熱式質(zhì)量流量產(chǎn)品還通過了多種防護(hù)（IP）認(rèn)證,，適用于多種危險(xiǎn)場所,。

二、brooks氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

• 較低的泄漏率
• 結(jié)構(gòu)緊湊
• 內(nèi)螺紋排氣口拋光處理
• 常閉閥
• 對安裝位置不敏感

三,、brooks氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)

• 數(shù)字信號/模擬信號輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器
• 介質(zhì):可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體
• 流量范圍:0.03-30slpm
• 量程比：50:1
• 大工作壓力: 1500psi(10.432Mpa)
• 氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG
• 電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge
• 精度:±1%FS
• 重復(fù)性：0.25% of rate
• 響應(yīng)時間：1-3s
• 差壓要求：3-6bar（壓差要求與介質(zhì),、量程有關(guān)）
• 操作溫度范圍：5~65℃
• 輸出信號：0-5VDC或4-20mA
• 電源：+/-15V

?四、brooks氣體質(zhì)量流量控制器其他系列產(chǎn)品

• SLA5800S---數(shù)字型氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器
• SLA5800 enhanced series
• 4800 series
• 5800S series
• 5851EM