微小流量質(zhì)量流量計(jì)將在未來流量?jī)x表中占主導(dǎo)地位
微小流量質(zhì)量流量計(jì)可測(cè)量空氣/氧氣/氮?dú)?氬氣/二氧化碳?xì)獾惹鍧崥怏w的流量,，微小流量質(zhì)量流量計(jì)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體,、電子,、化工、醫(yī)藥,、食品等產(chǎn)品制造過程中氣體流量的檢測(cè)及控制，醫(yī)院氧氣消耗量計(jì)量,、實(shí)驗(yàn)室氣體流量的檢測(cè)等,，微小流量質(zhì)量流量計(jì)口徑小至1mm，螺紋連接,。
微小流量質(zhì)量流量計(jì)采用熱質(zhì)量氣體流量傳感芯片,，屬于質(zhì)量流量傳感方式的微小流量計(jì)，微小流量質(zhì)量流量計(jì)是通過氣體流動(dòng)產(chǎn)生的熱場(chǎng)變化來測(cè)量氣體流量,，由于不同質(zhì)量的氣體對(duì)熱場(chǎng)的變化具有不同的影響,，所以微小流量質(zhì)量流量計(jì)所測(cè)的數(shù)據(jù)為質(zhì)量流量。
微小流量質(zhì)量流量計(jì)不同于傳統(tǒng)的“熱傳感器”方式采用了多個(gè)熱傳感器和多個(gè)熱源來測(cè)量氣體的質(zhì)量流量（風(fēng)速式熱質(zhì)量流量原理）,，微小流量質(zhì)量流量計(jì)采用了多個(gè)熱傳感器和一個(gè)微熱源（量熱式熱質(zhì)量流量原理）,，大大減少了環(huán)境對(duì)測(cè)量的影響。微小氣體質(zhì)量流量計(jì)的熱源十分微小,，幾乎不需要時(shí)間進(jìn)行加熱,。傳感器插入在相對(duì)大的流場(chǎng)中，在無氣體流動(dòng)時(shí),，傳感器的熱源對(duì)環(huán)境無影響,，不會(huì)因此引起氣體對(duì)流而導(dǎo)致零點(diǎn)變化。所以,，微小流量質(zhì)量流量計(jì)具有極短的響應(yīng)時(shí)間和優(yōu)良的零點(diǎn)穩(wěn)定性,。
微小流量質(zhì)量流量計(jì)主要特點(diǎn)：
1、微小流量質(zhì)量流量計(jì)采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片作為傳感器,，微小流量質(zhì)量流量計(jì)的靈敏度*同時(shí)具有良好的零點(diǎn)穩(wěn)定性,；
2,、單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)多傳感器集成，使該微小流量計(jì)的量程比大于100：1,；
3,、和傳統(tǒng)的機(jī)械式流量計(jì)比較，壓力損失大幅減小,，極大的降低了能源消耗,；
4、微小流量質(zhì)量流量計(jì)采用LCD顯示瞬時(shí)流量和累積流量,，清晰直觀,，讀數(shù)方便；
5,、微小流量計(jì)帶有RS-485通訊模塊,，配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理；
6,、可以選配4-20mA DC電流信號(hào)輸出,；
7、通過國家專業(yè)認(rèn)證,，標(biāo)志為ExiaIICT4,。
微小流量質(zhì)量流量計(jì)專門為需要顯示器和表體分離的應(yīng)用需求而設(shè)計(jì)的，例如醫(yī)院供氧系統(tǒng)小型空分系統(tǒng),，微小流量質(zhì)量流量計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)用戶界面(RS485/4~20mA)及用戶自定報(bào)警功能更好實(shí)現(xiàn)的異地或網(wǎng)絡(luò)監(jiān)控,，HLB系列現(xiàn)有的產(chǎn)品是HLB-12和HLB-19可分別測(cè)量0-300SLPM和0-800SLPM氣體流量。微小流量質(zhì)量流量計(jì)是孔板流量計(jì)理想的替代產(chǎn)品.微小流量質(zhì)量流量計(jì)是基于卡門渦街原理而研制成功的一種具有先進(jìn)水平的新型流量計(jì),，由于微小流量質(zhì)量流量計(jì)具有其它流量計(jì)不可兼得的優(yōu)點(diǎn),，自七十年代以來得到了迅速發(fā)展，據(jù)有關(guān)資料顯示,，現(xiàn)在日本,、歐美等發(fā)達(dá)國家使用渦街流量計(jì)的比例大幅度上升，微小流量質(zhì)量流量計(jì)已廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域,，微小流量質(zhì)量流量計(jì)將在未來流量?jī)x表中占主導(dǎo)地位.
微小流量質(zhì)量流量計(jì)適用測(cè)量過熱蒸汽,、飽和蒸汽、壓縮空氣和一般氣體,、水和液體的質(zhì)量流量和體積流量.
微小流量質(zhì)量流量計(jì)是采用成熟可靠的感應(yīng)壓電傳感器技術(shù),，其根據(jù)工況特性需求可以將流速、流量（或?qū)⒐r溫度,、壓力檢測(cè)優(yōu)化一體）,，充分體現(xiàn)了當(dāng)今機(jī)電一體化產(chǎn)品的高科技性及其性價(jià)比。該儀表系統(tǒng)數(shù)據(jù)處理采用Microchip的MCU技術(shù)并結(jié)合現(xiàn)代微電子工藝研制開發(fā)一種高可靠、準(zhǔn)確度高的工業(yè)流量測(cè)控儀表,。微小流量質(zhì)量流量計(jì)廣泛應(yīng)用于封閉管道中蒸汽,、氣體和液體介質(zhì)流量的計(jì)量。
微小流量質(zhì)量流量計(jì)是根據(jù)卡門（Karman）渦街原理測(cè)量氣體,、蒸汽或液體的體積流量,、標(biāo)況的體積流量或質(zhì)量流量的體積流量計(jì)。在流體中設(shè)置三角柱型旋渦發(fā)生體,，則從旋渦發(fā)生體兩側(cè)交替地產(chǎn)生有規(guī)則的旋渦,，這種旋渦稱為卡門旋渦，旋渦列在旋渦發(fā)生體下游非對(duì)稱地排列,。為了微小流量質(zhì)量流量計(jì)使用方便,，電池供電的本地顯示型微小流量質(zhì)量流量計(jì)采用微功耗高新技術(shù)，微小流量質(zhì)量流量計(jì)采用鋰電池供電可不間斷運(yùn)行一年以上,，節(jié)省了電纜和顯示儀表的采購安裝費(fèi)用,，可就地顯示瞬時(shí)流量、累積流量等,。溫度補(bǔ)償一體型微小流量質(zhì)量流量計(jì)還帶有溫度傳感器,，可以直接測(cè)量出飽和蒸汽的溫度并計(jì)算出壓力，從而顯示飽和蒸汽的質(zhì)量流量,。溫壓補(bǔ)償一體型帶有溫度,、壓力傳感器，用于氣體流量測(cè)量可直接測(cè)量出氣體介質(zhì)的溫度和壓力,，從而顯示氣體的標(biāo)況體積流量。
