質(zhì)量流量控制器,，其原理如下：

“在直徑較細(xì)的感應(yīng)管中放置兩對(duì)加熱器,，并將其控制在同一溫度,。當(dāng)流體流動(dòng)時(shí),，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升,。這時(shí),，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來(lái)測(cè)定流量,。”（附：qm=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測(cè)量管繞組（即加熱系統(tǒng)）與周圍環(huán)境熱交換系統(tǒng)之間的熱傳導(dǎo)系數(shù),； K -------儀表常數(shù)）

想像一下……放置兩臺(tái)電熱器，用一條線將兩臺(tái)電熱器連接起來(lái),，自己坐在線的中點(diǎn)處交叉的直角線上,，很暖和。兩臺(tái)電熱器發(fā)散同樣的熱量,，你坐在離兩臺(tái)電熱器同等距離的正中間位置，接受雙方的熱量,，是溫度高的地方,。在這個(gè)炎熱的季節(jié)，說(shuō)這樣的話,，真是熱得無(wú)法忍受啊…… 這時(shí),，在側(cè)面加一個(gè)電風(fēng)扇，離電風(fēng)扇近的一方發(fā)散出來(lái)的熱,，被吹到遠(yuǎn)一點(diǎn)的電熱器,，你坐的地方也會(huì)覺(jué)得稍微涼一些。風(fēng)扇吹得越快就越?jīng)隹臁?這和熱式感應(yīng)管中的道理一樣,，風(fēng)扇的強(qiáng)度（風(fēng)量）=氣體的流量,。反過(guò)來(lái)，要想檢測(cè)流量的話,，可以說(shuō)“測(cè)量一下氣體流過(guò)的時(shí)候兩臺(tái)電熱器之間移動(dòng)的熱量即可”

氣體質(zhì)量流量控制器用途

1. 鍋爐,、裂解爐用燃料氣質(zhì)量流量測(cè)量控制；

2. 石油化工,、采油,、火炬氣質(zhì)量流量測(cè)量,；

3. 燃燒爐用空氣質(zhì)量流量測(cè)量控制;燃汽輪機(jī)氫氣質(zhì)量流量和控制；

4. 食品加工及飲料氣體質(zhì)量流量和控制,；

5. 水廠cl2質(zhì)量流量控制,；

6. 生產(chǎn)半導(dǎo)體時(shí)高純度氣體質(zhì)量流量測(cè)量；

7. 催化劑,、化學(xué)添加劑質(zhì)量流量測(cè)量,；

8. 泵的保護(hù)控制、泵密封,、潤(rùn)滑油池泄漏檢測(cè),；

9. 空調(diào)系統(tǒng)控制；

10. 儀表用空氣,、工藝空氣,、氮?dú)獾荣|(zhì)量流量測(cè)量。

11. 氣體分析儀,，大氣采樣器

12. 泄露監(jiān)測(cè)

13. 氣體分配系統(tǒng)

14. 實(shí)驗(yàn)室氣體測(cè)量

15. 醫(yī)學(xué)應(yīng)用

16. 燃料電池

17. 應(yīng)用氣體：Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等絕大多數(shù)氣體,。

實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數(shù)值與實(shí)際不符,，其實(shí)原因很簡(jiǎn)單,，因?yàn)樵贛FC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF,，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡(jiǎn)稱CF）,。而MFC行業(yè)中又把N2（氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體M。N2的C值為1.00,，其他的氣體以氮?dú)鉃橹行?，分布?.1到1.4左右。

CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦),、Ar(氬),、Kr(氪)、Xe(氙),。和N2相近的氣體有02（氧氣）,、H2（氫氣）、F2（氟）等,。0.5以下的有SF6,、WF6、SiCl4等,。如果是幾種氣體的混合在一起的話,，簡(jiǎn)單的分析其比率，用各自的CF值計(jì)算即可,。