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CPC-80/120/150-CIF生產(chǎn)型等離子清洗機
  • CPC-80/120/150-CIF生產(chǎn)型等離子清洗機

更新時間:2024-08-05 11:50:57

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( 聯(lián)系我們,,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,,謝謝?。?/p>

CIF推出的CPC系列生產(chǎn)型等離子清洗機是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級客戶而設(shè)計的等離子體表面處理設(shè)備,配置豐富,,且真空腔體里可分層,,適合大多數(shù)生產(chǎn)場景。適用于等離子清洗,,活化以及刻蝕等多種應(yīng)用,,設(shè)備可在嚴苛環(huán)境下穩(wěn)定運行,產(chǎn)品穩(wěn)定,,樣品處理重復(fù)性一致性好,。

等離子清洗機產(chǎn)品特點:

u PLC工控機控制整個清洗過程,實時參數(shù)狀態(tài)直觀顯示,。

u 整個清洗過程全自動進行,。

u 處理高效均勻,,效率高,工藝重復(fù)性好,。

u 標配雙路氣體輸送系統(tǒng),,可選多氣路氣體輸送系統(tǒng),氣體分配均勻,??奢斎?/span>氧氣、氬氣,、氮氣,、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體,。

u 合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計,,設(shè)備占用空間小。

u 可處理各種材質(zhì),、形狀,、尺寸樣品。

u 樣品處理溫度,,熱損傷和熱氧化,。

u 使用成本低、耗損小,。

       u 產(chǎn)品性能穩(wěn)定,,安裝與維護簡便方便。

等離子清洗機技術(shù)參數(shù):


型號

CPC-80

CPC-120

CPC-150

艙體尺寸

W400xH400xD500mm

W500xH500xD450mm

W500xH500xD60mm

艙體容積

80L

120L

150L

有效尺寸

W400xD450

W500xxD400mm

W500xxD550mm

電極分布

6層

8-10層

10-15層

射頻電源

13.56MHz,,0-600W (可選裝40KHz ,,0-2000W)

13.56MHz0-1000W (可選裝40KHz,, 0-2000W)

3.56MHz,,0-1000W (可選裝40KHz 0-2000W)

匹配器

自動匹配

1.2A

時間設(shè)定

1-99分59秒

氣體穩(wěn)定時間

1分鐘

真空度

100pa以內(nèi)

激發(fā)方式

電容式

控制系統(tǒng)

7寸PLC觸摸屏控制

工藝氣體

2氣路 MFC(可選裝3路)

真空泵

抽速約40m3/h

抽速約60m3/h

抽速約60m3/h

AC380V 50-60Hz

AC380V 50-60Hz

AC380V 50-60Hz





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