Ossila-勻膠旋涂儀,，操作簡單,，方便實用，旋涂均勻,，結(jié)構(gòu)小巧緊湊,，為實驗室提供了理想的解決方案，其采用創(chuàng)新設計的非真空卡盤式旋涂吸盤,，無需真空泵或充氮氣,，就能達到很好的旋涂效果?？蓪Υ笮〔煌?guī)格的基材都可進行旋涂,，尤其是對超薄樣品，即使基片厚度0.7毫米,、0.55毫米,、0.2毫米或更薄時同樣能達到完美的旋涂效果。不會出現(xiàn)真空吸盤旋涂較薄的基材襯底翹曲現(xiàn)象,，影響涂層的均勻性,。廣泛應用于微電子、
Ossila勻膠旋涂儀
英國Ossila公司勻膠機,，操作簡單,，方便實用，旋涂均勻,，結(jié)構(gòu)小巧緊湊,，為實驗室提供了理想的解決方案,，其采用創(chuàng)新設計的非真空卡盤式旋涂吸盤，無需真空泵或充氮氣,，就能達到很好的旋涂效果,。可對大小不同規(guī)格的基材都可進行旋涂,，尤其是對超薄樣品,，即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米,、0.2毫米或更薄時同樣能達到完美的旋涂效果,。不會出現(xiàn)真空吸盤旋涂較薄的基材襯底翹曲現(xiàn)象，影響涂層的均勻性,。廣泛應用于微電子,、半導體、制版,、新能源,、生物材料、光學及表面涂覆等工藝,。
技術性能
- 可在手套箱和通風廚內(nèi)使用,，基座面積僅為22.5x17cm。
- 無需真空泵,、充氮氣,，節(jié)省保養(yǎng)維護費用。
- 創(chuàng)新設計非真空卡盤式吸盤,，基材只需放置在卡盤式旋涂托盤適當位置,，無需抽真空，就能達到完美的旋涂效果,。
- 耐酸堿防腐蝕FEP覆膜操作界面,，堅固的不銹鋼外殼，鋼化的玻璃蓋和耐酸堿防腐蝕的襯墊和聚丙烯材質(zhì)旋涂托盤,，使得在各種苛刻條件下仍能保證儀器正常運行,。
- 采用液晶顯示+按鍵操作控制界面。智能程序化控制,，10個用戶自定義協(xié)議,，每個協(xié)議下可設置10個程序，每個程序多50個步驟,。
- 內(nèi)置水平校準裝置,，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂,。
- 電磁安全開關,，蓋子打開卡盤停止,，保證運行安全。
- 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：<2%,。
- 轉(zhuǎn)速：120-6000rpm,。
- 定時器：1-1000秒。
- 電源：DC24V,、2A, 使用100-240V 50/60Hz電源適配器。
- 尺寸：220x170x132mm,。
- 左：普通旋涂機上有真空密封環(huán)形印跡 右：Ossila非真空式旋涂效果
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