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SC1-CIF-Spin Processor
  • SC1-CIF-Spin Processor

貨物所在地:北京北京市

更新時間:2024-12-21 21:00:07

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CIF-Spin Processor轉速穩(wěn)定,、啟動迅速,,旋涂均勻,操作簡單,,結構緊湊實用,,為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子,、半導體,、新能源,、化工材料,、生物材料、光學,,硅片,、載玻片,晶片,,基片,,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

CIF-Spin Processor

產品特點

采用閉環(huán)控制伺服電機,,數字式增速信號反饋,,速勻準確,壽命長,,保證勻膠均勻,。

5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,,標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置),,可選配10個可編程程序,每個程序下可設置10個勻膠梯度階段,,多100個階段,。

內置水平校準裝置,,大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂,。

多重安全保護

電磁安全開關,,蓋子打開卡盤停止,保證安全,;

蓋子自鎖功能,,防止飛片蓋子彈開傷人;

雙重安全上蓋,,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,大限度保證實驗人員安全,。

一機兩用,,根據不同樣品可選真空盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。

不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,,PTFE旋涂腔體,,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤,PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,,耐酸堿防腐蝕,,保證儀器苛刻條件下能正常運行

適用硅片,、玻璃,、石英,、金屬,、GaAs,GaN,,InP 等多種材料,。

技術參數

型號

轉速(轉/分)

轉速穩(wěn)定度

勻膠時間

旋涂基片尺寸mm

外型尺寸(LxWxH)mm

SC1

50-10000

±1%

0-2000S

圓片Φ5-Φ100,方片大100x100

310x260x250

 

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