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CIF-勻膠旋涂?jī)x

產(chǎn)品特點(diǎn)

u 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī),，數(shù)字式增速信號(hào)反饋，速勻準(zhǔn)確,，壽命長(zhǎng),，保證勻膠均勻。

u 5寸全彩觸摸屏,，智能程序化可編程操控顯示,，標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段（速度和時(shí)間梯度設(shè)置），可選配10個(gè)可編程程序,，每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段,，多100個(gè)階段。

u 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,，大限度的保證旋涂均勻,，可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。

u 多重安全保護(hù)

電磁安全開(kāi)關(guān),，蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止,，保證安全；

蓋子自鎖功能,，防止飛片蓋子彈開(kāi)傷人,；

雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,，大限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。

u 一機(jī)兩用,，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂模式,。

u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，PTFE旋涂腔體,，聚丙烯（NPP-H）旋涂托盤(pán),，PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋，耐酸堿防腐蝕,，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行,。

u 適用硅片、玻璃,、石英,、金屬、GaAs,，GaN，InP 等多種材料,。

技術(shù)參數(shù)