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勻膠旋涂儀的使用步驟：

1,、開機(jī)前準(zhǔn)備：清理殘余物，選擇合適的吸盤,，并將樣品放在吸盤正中央,。

2、開機(jī)與設(shè)定：打開電源,，設(shè)定涂布的時間和轉(zhuǎn)速,，并啟動真空吸附。

3,、涂布：滴加光阻劑,，并啟動涂布過程。

4,、完成涂布后,，關(guān)閉真空和電源，取下樣品,。

本公司提供的L2001勻膠旋涂儀操作簡單,，方便實(shí)用，旋涂均勻,，結(jié)構(gòu)小巧緊湊,，占地面積小，節(jié)省超凈間的使用面積,，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案，其采用創(chuàng)新設(shè)計(jì)的非真空卡盤式旋涂吸盤,，無需真空泵或充氮?dú)?，就能達(dá)到很好的旋涂效果。勻膠旋涂儀可對大小不同規(guī)格的基材都可進(jìn)行旋涂,，尤其是對超薄樣品,，即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米,、0.2毫米或更薄時同樣能達(dá)到旋涂效果,。不會出現(xiàn)真空吸盤旋涂較薄的基材襯底翹曲現(xiàn)象，影響涂層的均勻性,。