紫外臭氧清洗機(jī)是一種簡單，經(jīng)濟(jì),，快速高效的材料表面清洗設(shè)備,，能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材(比如石英，硅片,，金,，鎳，鋁,，砷化鎵,，氧化鋁等)上的有機(jī)污染物。
紫外臭氧清洗機(jī)運(yùn)用紫外光清洗技術(shù)通過利用有機(jī)化合物的光敏氧化作用達(dá)到去除黏附在材料表面上的有機(jī)物質(zhì),，經(jīng)過光清洗后的材料表面可以達(dá)到“原子清潔度”,。也就是UV光源發(fā)射波長為185nm和254nm的光波，具有很高的能量,當(dāng)這些光子作用到被清洗物體表面時(shí),由于大多數(shù)碳?xì)浠衔飳?duì)185nm波長的紫外光具有較強(qiáng)的吸收能力,并在吸收185nm波長的紫外光的能量后分解成離子,、游離態(tài)原子,、受激分子和中子，這就是所謂光敏作用,?？諝庵械难鯕夥肿釉谖樟?85nm波長的紫外光后也會(huì)產(chǎn)生臭氧和原子氧。臭氧對(duì)254nm波長的紫外光同樣具有強(qiáng)烈的吸收作用,臭氧又分解為原子氧和氧氣,。其中原子氧是活潑的,在它作用下,物體表面上的碳和碳?xì)浠衔锏姆纸馕锟苫铣煽蓳]發(fā)的氣體：二氧化碳和水蒸氣等逸出表面,，從而*底清除了黏附在物體表面上的碳和有機(jī)污染物。
紫外臭氧清洗機(jī)可以去除樣品表面污染,，數(shù)分鐘內(nèi)產(chǎn)生超凈表面,。它利用高能紫外光源產(chǎn)生臭氧，臭氧將樣品表面的污染物分解為揮發(fā)性化合物,。揮發(fā)性化合物從樣品表面蒸發(fā)的痕跡,。這種清潔方法可以產(chǎn)生接近原子級(jí)的清潔表面，而不會(huì)對(duì)樣品表面產(chǎn)生損壞,。
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