勻膠旋涂?jī)x通過(guò)在片材保持器上產(chǎn)生負(fù)壓來(lái)吸收待旋涂在片材固定器上的基材,并且膠滴到基材表面上,。離心力通過(guò)精確調(diào)節(jié)電機(jī)的轉(zhuǎn)速而改變,。同時(shí),膠水流由滴膠裝置控制,,以達(dá)到薄膜制備所需的厚度,。此外,膜厚度還取決于環(huán)境因素,,如旋涂時(shí)間,、膠水粘度、殘余涂層溫度和濕度,。勻膠旋涂?jī)x廣泛應(yīng)用于I砸EMS微加工,,生物,材料等領(lǐng)域,,它可以用來(lái)制備厚度小于10納米薄膜,。也常應(yīng)用在約1-100微米厚光刻膠沉積層的光刻工藝中。在使用過(guò)程中勻膠工藝常見(jiàn)問(wèn)題有:
1,、表面出現(xiàn)氣泡可能原因:滴膠時(shí)膠中帶有氣泡,;噴嘴*端切囗有問(wèn)題或帶刺問(wèn)題
2、四周呈現(xiàn)放射狀條紋可能原因:膠液噴射速度過(guò)高,;設(shè)備排氣速度過(guò)高,;膠涂覆前靜止時(shí)間過(guò)長(zhǎng);勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速或加速度設(shè)置過(guò)高,;片子表片留有小顆粒膠中有顆粒
3,、中心出現(xiàn)漩渦圖案可能原因:設(shè)備排氣速度過(guò)高;噴膠時(shí)膠液偏離襯底中心,;旋圖時(shí)間過(guò)長(zhǎng),;加速度過(guò)高
4、中心出現(xiàn)圓暈可能原因:不合適的托盤(pán),,噴嘴偏離襯底中心
5,、膠液未涂滿襯底可能原因:給膠量不足;不合適的勻膠加速度
6,、出現(xiàn)針孔現(xiàn)象可能原因:空氣中粉塵,;光刻膠內(nèi)存在顆粒或氣泡,;襯底上存在顆粒
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