勻膠旋涂儀具有勻膠效率高，使用方便等特點,。其勻膠速度,、時間分多個時段，并分別無級可調,。面對眾多的品牌,，在選購合適的勻膠旋涂儀時您可以關注哪些因素呢？
1,、旋轉速度： 轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性,。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的,。
2,、尺寸選擇，根據(jù)尺寸的不同選擇不同大小的機型,。
3,、材質的選擇：對于半導體化工行業(yè)的應用來說，材質的選擇尤為關鍵,，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質,，因為這種材質的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,，塑料對于較高溫度和壓力下易產生變形,。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時,，時高時低的顛簸狀態(tài),。自然無法得到好的旋涂效果。
勻膠旋涂儀在勻膠過程中基片的加速度也會對膠膜的性能產生影響,。因為在基片旋轉的第一階段,，光刻膠就開始干燥(溶劑揮發(fā))了。所以精確控制加速度很重要。在一些勻膠過程中,，光刻膠中50%的溶劑就在勻膠過程開始的幾秒鐘內揮發(fā)掉了,。在已經光刻有圖形的基片上勻膠，加速度對膠膜質量同樣起重要作用,。在許多情況下,，基片上已經由前面工序留下來的精細圖形。因此,，在這樣的基片上穿越這些圖形均勻涂膠是重要的,。勻膠過程總是對光刻膠產生離心力，而恰恰是加速度對光刻膠產生扭力(twisting force),這個扭力使光刻膠在已有圖形的周圍散開,，這樣就可能以另一種方式用光刻膠覆蓋基片上有圖形的部分,。
所有勻膠過程中光刻膠的干燥速度不僅取決于光刻膠的自身性質(如所用溶劑體系的揮發(fā)性)，而且還取決于勻膠過程中基片周圍的空氣狀況,。一塊濕布在干燥有風的日子干得快,，而在潮濕氣候條件下干得慢。光刻膠的干燥速度與此相似,，也受周圍環(huán)境條件的影響,。
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