等離子清洗機(jī)也叫等離子清潔機(jī)、等離子表面處理儀,，是一種全新的高科技技術(shù),，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,，從而實(shí)現(xiàn)清潔,、涂覆等目的。
等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)大的部分組成,，分別是控制單元,、真空腔體以及真空泵,。國(guó)內(nèi)使用的等離子清洗機(jī)，包括國(guó)外進(jìn)口的,，控制單元主要分為半自動(dòng)控制,、全自動(dòng)控制、PC電腦控制,、液晶觸摸屏控制四種方式,。
等離子體清洗的原理，主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的,。就反應(yīng)機(jī)理來看,，等離子體清洗通常包括以下過程：無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面,；被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子,；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應(yīng)殘余物脫離表面,。
等離子體清洗技術(shù)的特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型,，均可進(jìn)行處理，對(duì)金屬,、半導(dǎo)體,、氧化物和大多數(shù)高分子材料,，如聚丙烯,、聚脂、聚酰亞胺,、聚氯乙烷,、環(huán)氧,、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗,。
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