等離子清洗機已應用于各種電子元件的制造,，可以確信，沒有等離子清洗機及其清洗技術,，就沒有今日這么發(fā)達的電子,、資訊和通訊產業(yè)。此外,，等離子清洗機及其清洗技術也應用在光學工業(yè),、機械與航天工業(yè)、高分子工業(yè),、污染防治工業(yè)和量測工業(yè)上,，而且是產品提升的關鍵技術，比如說光學元件的鍍膜,、延長模具或加工工具壽命的抗磨耗層,，復合材料的中間層、織布或隱性鏡片的表面處理,、微感測器的制造,，超微機械的加工技術,、人工關節(jié)、骨骼或心臟瓣膜的抗摩耗層等皆需等離子技術的進步,，才能開發(fā)完成,。等離子清洗機是一新興的領域，該領域結合等離子物理,、等離子化學和氣固相界面的化學反應,，此為典型的高科技產業(yè)，需跨多種領域,，包括化工,、材料和電機，因此將挑戰(zhàn)性,，也充滿機會,，由于半導體和光電材料在未來得快速成長，此方面應用需求將越來越大,。
等離子清洗機也叫等離子表面處理儀,，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果,。等離子體是物質的一種狀態(tài),，也叫做物質的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài),。等離子體的“活性”組分包括：離子,、電子、活性基團,、激發(fā)態(tài)的核素,、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,，從而實現(xiàn)清潔等目的,。
等離子體和固體、液體或氣體一樣,，是物質的一種狀態(tài),，也叫做物質的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài),。等離子體的"活性"組分包括：離子,、電子、活性基團,、激發(fā)態(tài)的核素,、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔,、改性,、光刻膠灰化等目的。
等離子清洗機原理：
等離子體是物質的一種存在狀態(tài),，通常物質以固態(tài),、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,，如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態(tài)中存在下列物質：處于高速運動狀態(tài)的電子,；處于激活狀態(tài)的中性原子,、分子、原子團（自由基）,；離子化的原子,、分子；未反應的分子,、原子等,，但物質在總體上仍保持電中性狀態(tài),。
在真空腔體里,，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等體子體轟被清洗產品面．以達到清洗目的．
我們在長期從事等離子體應用技術研究和設備研制的基礎上,，充分借鑒歐美的先進技術,，并通過與國內外著名研究機構的技術合作，開發(fā)出具有自主知識產權的電容耦合放電,、電感耦合放電和遠區(qū)等離子放電等多種放電類型的產品,。特色鮮明的處理腔體形狀和電極結構可以滿足不同形狀、不同材質的表面處理要求,，包括薄膜,、織物、零件,、粉體和顆粒等,。
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