超凈工作臺的結(jié)構(gòu)及如何空氣凈化說明  

空氣經(jīng)過過濾的生產(chǎn)環(huán)境被航空航天工業(yè)使用,。即使一個極其微小的缺陷都可造成衛(wèi)星工作失誤,，因此,，NASA（美國航空航天中心）和其服務(wù)商們建造了帶有過濾天花板夾層和過濾墻體的車間,。而且創(chuàng)了許多基本的污染控制理念，其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法,。

半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù),。然而一個主要的問題是當(dāng)從小加工車間擴建為有更多工人工作的大型車間后，很難保持其固有的潔凈度,。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過濾天花板夾層和墻體的方法演化為超凈工作臺法,。這個主要是把過濾器裝在單個工作臺上，并使用無脫落的物質(zhì),。在工作臺以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲存,、運輸,。

在大型車間中按順序排列的工作臺（叫做工作層流罩）組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過而不從露于空氣中,。潔凈工作罩中的過濾器是一種顆粒搜集過濾器（HEPA過濾器）,。這些過濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成,，由于高密度的小孔與大面積的過濾層,，使得大量的空氣低速流過。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流,，有利于工作臺的潔凈度,，并且對于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的,。典型的空氣流量為每分鐘90到100英寸,。HEPA過濾器可達到99.99%或更高的過濾效率，并可用于三種凈化方法中,。

一般來說,，HEPA過濾器裝于超凈工作臺頂部?？諝庥娠L(fēng)扇吸入先通過前置過濾器,，再通過HEPA過濾器，并以均勻平行的方式流出,，在工作臺表面改變方向,，流出工作臺。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動方向,，通常這種方式稱為空氣層流立式式（VLF）工作臺,，它是由空氣流的方向命名的。有些工作臺把HEPA過濾器裝于工作臺后部,，這種方式被稱為空氣層流平行（HLF）式工作臺,。

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